[发明专利]硅片烧结炉

权利要求书

1.硅片烧结炉，包括烘干炉区(1)、烧结炉区(2)、冷却炉区(3)以及输送装置(4)，其特征在于：

所述烘干炉区(1)包括炉体(11)，所述炉体(11)具有烘干炉腔，所述烘干炉腔顶部设置有连通烘干炉腔的抽气装置(15)；

所述炉体(11)的侧壁上设置有连通烘干炉腔的入气管(12)，所述入气管(12)在炉体(11)的侧面上沿长度方向均匀分布；所述入气管(12)在烘干炉腔内的入气口部分位于输送装置(4)上表面的上方，另一部分位于输送装置(4)上表面的下方；

所述炉体(11)顶部设置有空气加热鼓风装置(13)，所述空气加热鼓风装置(13)具有的出风口通过连通管道(17)与入气管(12)连通，所述空气加热鼓风装置(13)具有的进风口设置有空气过滤装置(14)。

2.如权利要求1所述的硅片烧结炉，其特征在于：所述抽气装置(15)的出气口设置有过滤装置(16)。

3.如权利要求2所述的硅片烧结炉，其特征在于：所述空气加热鼓风装置(13)包括空气加热器和鼓风器，所述鼓风机的入气口与空气过滤装置(14)连通，所述鼓风机与空气加热器连通，所述空气加热器与入气管(12)连通。

4.如权利要求3所述的硅片烧结炉，其特征在于：所述抽气装置(15)采用抽风机。