[发明专利]一种减缓质谱分析仪中真空紫外灯衰减速率的方法在审
| 申请号： | 201711213353.X | 申请日： | 2017-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN109841467A | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 李海洋;吴称心;蒋吉春;王艳;李庆运 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | H01J9/50 | 分类号： | H01J9/50;H01J49/08;H01J49/26 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 马驰 |
| 地址： | 116023 *** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及质谱分析仪器，具体说是一种减缓质谱分析仪器真空紫外(VUV)灯衰减速率的方法，所述质谱分析仪采用VUV灯为电离源，由VUV灯氟化镁光窗发出的出射光穿过推斥电极中部的通孔射入质谱电离区。质谱分析仪VUV灯使用过程中，真空紫外光照射到金属电极上会产生光电子，光电子溅射到氟化镁光窗上导致光窗带电荷吸附有机物造成光窗污染，光窗污染是导致质谱分析仪器真空紫外灯长期使用时信号强度衰减的主要原因。环形磁铁可以使光电子运动路径发生改变，栅网可以吸收光电子和部分有机物，在VUV灯前端使用磁铁和栅网吸收光电子，并使用吹扫气在灯前端吹扫减少样品反冲，从而减少光窗污染，减缓VUV灯衰减速率。 | ||
| 搜索关键词： | 光电子 光窗 质谱分析仪 质谱分析 衰减 真空紫外灯 氟化 栅网 污染 吸附有机物 真空紫外光 质谱电离区 环形磁铁 金属电极 强度衰减 推斥电极 运动路径 电荷 出射光 吹扫气 电离源 有机物 磁铁 吹扫 反冲 溅射 射入 通孔 吸收 照射 穿过 | ||
【主权项】：
1.一种减缓质谱分析仪中真空紫外灯衰减速率的方法，所述质谱分析仪采用VUV灯(1)为电离源，由VUV灯(1)氟化镁光窗(15)发出的出射光穿过推斥电极(5)中部的通孔射入质谱电离区,其特征在于:于VUV灯(1)氟化镁光窗(15)与推斥电极(5)之间设有一中部带有通孔的环形磁铁(3),于环形磁铁(3)中部的通孔与推斥电极(5)中部通孔之间设有栅网(4)，由真空紫外VUV灯(2)光窗发出的出射光通过栅网(4)后经推斥电极(5)中部的通孔射入质谱电离区。
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- 2012-01-17 - 2013-07-17 - H01J9/50
- 一种P5000刻蚀机中阴极内衬的修复工艺，包括以下步骤保护不需要加工的零部件表面，用胶带和保护用材料对阴极内衬（1）进行包裹，只露出需要进行加工的3个第一边接口（1-1）、第二边接口（1-2）、第三边接口（1-3）和内衬上用于加工时定位用的沟（2），该修复工艺只针对以生泄漏的3个凸出接口进行处理，不影响阴极内衬上的其它无关特征和尺寸。通过在端面添加密封圈和改用螺纹连接，部件的密封性能比当初的焊接结构更加可靠，并且具有重复修复的特点。为P5000刻蚀机用户节约了生产成本。
- 一种节能灯荧光粉回收振动装置-201310028569.4
- 祝江土 - 浙江力胜电子科技有限公司
- 2013-01-25 - 2013-05-08 - H01J9/50
- 一种节能灯荧光粉回收振动装置，包括机架和机架上的振动架，振动架的中部连接有转轴，转轴两端设有轴承上，轴承设在机架上的轴承座上，设有驱动装置驱动振动架随着转轴摆动，机架两侧分别设有限位钉，限位钉上部正对振动架两侧下面。本发明应用到荧光粉混合液的分层，大大缩短了荧光粉分层时间，提高了分层效果和分层后的荧光粉性能，具有很大的社会效益和经济效益，推广价值高。
- 一种等离子显示屏低放电缺陷的修复方法-201210587874.2
- 钱恒;刘洋;陈富贵;李新亮 - 四川虹欧显示器件有限公司
- 2012-12-29 - 2013-04-24 - H01J9/50
- 本发明公开了一种等离子显示屏低放电缺陷的修复方法，涉及等离子显示屏的生产工艺。本发明的目的是针对现有技术的不足，提供一种能有效降低浪费，节省成本的等离子显示屏低放电缺陷修复的方法。本发明技术要点：在等离子显示屏的封排工序及模组工序之间包括以下工艺步骤：步骤1：对屏进行第一次老炼；步骤2：检测屏是否存在低放电现象：若存在，执行步骤3，否则进入后续模组工序；步骤3：对屏进行再次老练，执行步骤4；步骤4：检测屏是否仍然存在低放电现象：若存在，将屏报废，否则进入后续模组工序。
- 废旧节能灯回收方法-201210346079.4
- 林春涛 - 广东巨洋集团有限公司
- 2012-09-18 - 2013-03-27 - H01J9/50
- 本发明公开了一种废旧节能灯回收方法，其方法步骤如下：将废旧节能灯的灯头与玻璃灯管分切开，得到玻璃灯管与灯头；所述灯头以电选方式，分离金属与非金属，回收金属；所述玻璃灯管以高温100度热处理后，以零下10度冷水冲洗，回收玻璃灯；得到的冲洗水加温到100度，蒸汽以活性炭吸附，直至冲洗水蒸发完止，荧光粉被吸附于活性炭中。本发明处理废旧节能灯成本较低、效率高。
- 一种激光器障壁修补系统-201220153047.8
- 罗俊辉;蔡春迎;李跃松 - 深圳清溢光电股份有限公司
- 2012-04-12 - 2013-01-02 - H01J9/50
- 本实用新型涉及一种激光器障壁修补系统，包括横梁，所述横梁上设有激光器、光路转折系统和修补点观察器，所述激光器与一系统控制器连接。本技术方案采用了激光器固化技术，在点胶后固化时间少，耗电很少，节约很多工序，提高了整个过程的效率，提高了固化的质量，降低生产成本。
- 废旧灯管回收装置-201220074263.3
- 许开华;闫梨;管于军;周继锋 - 深圳市格林美高新技术股份有限公司
- 2012-03-01 - 2012-11-21 - H01J9/50
- 本实用新型公开了一种废旧灯管回收装置，包括支撑组件、传送组件、切割组件、抽风装置及破碎装置，所述的传送组件装设在所述的支撑组件上，所述的切割组件设于所述的传送组件的下方，所述的抽风装置设于所述的传送组件的一侧，所述的破碎装置设于所述的传送组件的一端。使用时，首先将废旧灯管放置在传送组件上，然后通过切割组件进行切割，在经过抽风装置时，其废气被吸入冷凝装置中进行分离处理。同时，玻璃灯管被带到破碎装置中进行破碎处理。本新型，通过对废旧灯管中的废气和玻璃分别进行处理，不仅提高了分离的效率，而且，使分离时，分离物纯度更高，且结构简单，使用方便。
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