[发明专利]体声波谐振器有效
| 申请号： | 201711211798.4 | 申请日： | 2017-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN108123695B | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 韩源;林昶贤;金龙石;韩昇勋;李成俊;尹湘基;金泰润 | 申请（专利权）人： | 三星电机株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/05;H03H9/56;H03H9/58 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 孙丽妍;金光军 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：膜层，与基板一起形成腔；下电极，设置在所述膜层上；压电层，设置在所述下电极的平坦表面上；以及上电极，覆盖所述压电层的一部分。所述压电层的侧部的整个区域暴露于空气。所述压电层的所述侧部相对于所述下电极的顶表面具有65°到90°的倾斜度。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
一种体声波谐振器，包括：膜层，与基板一起形成腔；下电极，设置在所述膜层上；压电层，设置在所述下电极的平坦表面上；以及上电极，覆盖所述压电层的一部分，其中，所述压电层的侧部的整个区域暴露于空气，并且所述压电层的所述侧部相对于所述下电极的顶表面具有65°到90°的倾斜度。
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