[发明专利]体声波谐振器有效
| 申请号： | 201711211798.4 | 申请日： | 2017-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN108123695B | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 韩源;林昶贤;金龙石;韩昇勋;李成俊;尹湘基;金泰润 | 申请（专利权）人： | 三星电机株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/05;H03H9/56;H03H9/58 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 孙丽妍;金光军 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 | ||
1.一种体声波谐振器，包括：
膜层，与基板一起形成腔；
下电极，设置在所述膜层上；
压电层，设置在所述下电极的平坦表面上；以及
上电极，覆盖所述压电层的一部分，
其中，所述压电层的侧部的整个区域暴露于空气，并且
所述压电层的所述侧部相对于所述下电极的顶表面具有65°到90°的倾斜度，
其中，在所述上电极的一个端部处，所述上电极的下表面延伸到所述压电层的侧部并且所述上电极的上表面延伸超过所述压电层的侧部以形成反射损耗改善部，或者
其中，在所述下电极的一个端部处，所述下电极的上表面延伸到所述压电层的侧部并且所述下电极的下表面延伸超过所述压电层的侧部以形成反射损耗改善部。
2.根据权利要求1所述的体声波谐振器，所述上电极包括：
支撑构件，设置在所述膜层上，并与所述下电极分开；
延伸部，从所述支撑构件延伸，并与所述压电层分开；以及
电极层部，从所述延伸部延伸，并覆盖所述压电层的顶表面。
3.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述腔的凸起部通过所述膜层限定。
4.根据权利要求3所述的体声波谐振器，其中，所述压电层设置在位于所述凸起部的平坦表面上的所述下电极上。
5.一种体声波谐振器，包括：
膜层，与基板一起形成腔；
下电极，设置在所述膜层上；
压电层，设置在所述下电极的平坦表面上；以及
上电极，覆盖所述压电层的一部分，
其中，所述压电层的侧部的整个区域暴露于空气，并且
所述压电层的所述侧部相对于所述下电极的顶表面具有65°到90°的倾斜度，
其中，所述上电极包括：
支撑构件，设置在所述膜层上，并与所述下电极分开；
延伸部，从所述支撑构件延伸，并与所述压电层分开；以及
电极层部，从所述延伸部延伸，并覆盖所述压电层的顶表面，
其中，所述电极层部的连接到所述延伸部的部分设置在所述电极层部的剩余部分之上或之下，以形成反射损耗改善部。
6.一种体声波谐振器，包括：
膜层，与基板一起形成腔；
下电极，设置在所述膜层上；
压电层，设置在所述下电极的平坦表面上；
上电极，覆盖所述压电层的一部分，并与所述压电层的侧部分开；以及
残余牺牲层，覆盖所述压电层的所述侧部的一部分，
其中，所述残余牺牲层的声阻抗值与所述压电层的声阻抗值不同，
其中，所述上电极包括：
支撑构件，设置在所述膜层上，并与所述下电极分开；
延伸部，从所述支撑构件延伸，并与所述压电层分开；以及
电极层部，从所述延伸部延伸，并覆盖所述压电层的顶表面。
7.根据权利要求6所述的体声波谐振器，其中，所述残余牺牲层形成在通过所述压电层、所述支撑构件、所述延伸部和所述膜层限定的空间中。
8.根据权利要求6所述的体声波谐振器，其中，所述残余牺牲层围绕所述压电层的所述侧部。
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