[发明专利]一种压电复合元件电极制备方法

摘要

本发明属于先进制造技术领域，提供一种压电复合元件电极制备方法。首先，通过机械研磨的方法对压电复合元件表面进行预处理，使之具有良好的平面度及合适的粗糙度。其次，对PZT压电复合元件表面改性以增加其表面能，具体为采用紫外线照射复合元件表面，使其表面产生含氧极性官能团，提高压电复合元件表面与金属层之间的结合强度。最后，溅射微米级的金属薄膜作为压电复合元件的电极。本发明制备得到的压电复合元件表面电极电阻低、结合强度高、焊接性强，利于大批量生产及商业化推广应用。

主权项

1.一种压电复合元件电极制备方法，其特征在于以下步骤：1)压电复合元件表面预处理，采用自动压力研磨抛光机对压电复合元件进行研磨处理，采用清洗剂对其进行超声清洗，去除压电复合元件表面附着的有机杂质；采用除油液对压电复合元件进行除油处理；2)压电复合元件表面改性对预处理后的压电复合元件进行烘干处理后，利用紫外线照射机照射复合元件表面3～8min，使其表面产生含氧极性官能团，提高电极与复合元件表面之间的结合强度；3)制备压电复合元件电极在表面改性后的压电复合元件表面溅射金属层1作为压电复合元件电极的过渡层，溅射金属层2作为压电复合元件电极的中间保护层，溅射金属层3作为压电复合元件电极的表面保护层；所述的金属层1为Ti电极层，Ti电极层溅射在压电复合元件表面，溅射时间为10～15min，Ti电极层层厚为80～100nm；金属层2为Cu电极层，Cu电极层溅射在Ti电极层的表面，溅射时间为30～45min，Cu电极层层厚为1500～2000nm；金属层3为Ag电极层，Ag电极层溅射在Cu电极层表面，溅射时间为12～18min，Ag电极层层厚为300～500nm。