[发明专利]一种基于光电导薄膜的光电可调控FSS结构及其制备方法在审
| 申请号： | 201711198024.2 | 申请日： | 2017-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN109841959A | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长春理工大学 |
| 主分类号： | H01Q15/00 | 分类号： | H01Q15/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 130022 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种光电可调控FSS结构及其制造方法，包括基底及在基底上形成的金属膜，金属膜的至少一部分被去除以形成开口区，开口区露出所述基底，未去除的金属膜的区域构成带阻型FSS振子图案，带阻型FSS振子图案的部分区域或该部分区域的邻近区域形成有光电导薄膜，与所述金属膜共同构成带通型FSS图案。本发明利用光电导薄膜光照导电特性控制FSS单元结构形状的变化，从而实现FSS的光电调控。本发明的该光电可调控FSS结构简单、制作工艺难度小，仅通过控制光照即可实现带通带阻特性相互转换，且采用光刻技术可将线条做的很细，在屏蔽的同时，满足可见、红外等光波段的透过。 | ||
| 搜索关键词： | 金属膜 光电导薄膜 可调控 基底 开口区 图案 振子 去除 光照 单元结构 导电特性 光电调控 光刻技术 邻近区域 制作工艺 光波段 屏蔽 带通 通带 制备 线条 转换 制造 | ||
【主权项】：
1.一种光电可调控FSS结构，包括基底(1)及在基底(1)上形成的金属膜(2)，所述金属膜(2)的至少一部分被去除以形成开口区(c)，该开口区(c)露出所述基底(1)，其特征在于：未去除的金属膜的区域构成带阻型FSS图案；所述带阻型FSS振子图案的部分区域或该部分区域的邻近区域形成有光电导薄膜，与所述金属膜(2)共同构成带通型FSS图案。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长春理工大学，未经长春理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711198024.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
