[发明专利]一种微器件的封装方法及利用该方法封装的微器件在审
申请号: | 201711185564.7 | 申请日: | 2017-11-23 |
公开(公告)号: | CN107785275A | 公开(公告)日: | 2018-03-09 |
发明(设计)人: | 谢元华 | 申请(专利权)人: | 昌微系统科技(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L21/60;H01L23/498 |
代理公司: | 北京大成律师事务所11352 | 代理人: | 李佳铭,沈汶波 |
地址: | 200025 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提出一种微器件的封装方法及利用该方法封装的微器件,本发明通过预先将用于实现电连接的导线固定于一封装体中,导线的两端裸露,从而,当封装体与微器件以及基板固定组合后,可通过固定于封装体中的导线实现微器件与基板甚至外部电路的电连接。本发明可以应用不同领域的封装工艺,提供一种微器件的快速封装方法,节约封装工艺的时间及工艺步骤,降低质量风险。 | ||
搜索关键词: | 一种 器件 封装 方法 利用 | ||
【主权项】:
一种微器件的封装方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤一,根据所述微器件形状,在一封装体的一第一面上切割一凹槽,步骤二,根据所述微器件的电路设计,在所述凹槽的内侧打孔,形成导线槽,步骤三,采用热键压固,将导线放入所述导线槽中,所述导线的两端裸露,步骤四,在所述导线的两端的裸露部分涂覆助焊剂,将所述微器件放入所述凹槽中,并利用导电材料将所述导线的一第一端与所述微器件上的微器件引脚焊接,将所述微型器件与所述封装体键合固定,步骤五,利用导电材料将所述导线的一第二端与所述基板上的基板引脚焊接,步骤六,在所述凹槽中填充可固化材料,所述可固化材料固化后,所述封装体与所述基板固定连接,所述微器件固定于所述封装体与所述基板形成的空间中。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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