[发明专利]金刚线切割硅片用树脂板及脱胶处理方法有效
| 申请号： | 201711183950.2 | 申请日： | 2017-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN107856210B | 公开（公告）日： | 2018-08-21 |
| 发明（设计）人： | 陆继波;王海庆;徐建华 | 申请（专利权）人： | 江苏高照新能源发展有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 任立 |
| 地址： | 212200 江苏省镇*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明是一种金刚线切割硅片用树脂板，其固定在需要切割的硅锭一侧，树脂板的填充物为玻璃纤维粉，通过加入玻璃纤维粉控制树脂板的厚度为25mm时，其密度为0.6g/cm3；在树脂板的中部沿其长度方向设有至少两个通孔，通孔间隔均匀分布。本发明可以提高切割效率，提升了硅片切片时间的加工效率，使设备的利用率得到提升；减少脱胶冲洗用水的使用量；降低整体树脂板型重量，解决了树脂板作为废品的处理的轻质化问题，起到了节能环保的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 金刚 切割 硅片 高效 节能 环保 树脂 脱胶 处理 方法 | ||
【主权项】：
1.金刚线切割硅片用树脂板，其固定在需要切割的硅锭一侧，所述树脂板的填充物为玻璃纤维粉，其特征在于：所述玻璃纤维粉的填充量为树脂板重量的50‑60%，通过加入所述玻璃纤维粉控制所述树脂板的厚度为25mm±0.5mm时，其密度为0.5‑0.7g/cm3；在所述树脂板的中部沿其长度方向设有至少两个通孔，所述通孔间隔均匀分布。
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