[发明专利]金刚线切割硅片用树脂板及脱胶处理方法有效
| 申请号： | 201711183950.2 | 申请日： | 2017-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN107856210B | 公开（公告）日： | 2018-08-21 |
| 发明（设计）人： | 陆继波;王海庆;徐建华 | 申请（专利权）人： | 江苏高照新能源发展有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 任立 |
| 地址： | 212200 江苏省镇*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金刚 切割 硅片 高效 节能 环保 树脂 脱胶 处理 方法 | ||
【权利要求书】：
1.金刚线切割硅片用树脂板，其固定在需要切割的硅锭一侧，所述树脂板的填充物为玻璃纤维粉，其特征在于：
所述玻璃纤维粉的填充量为树脂板重量的50-60%，通过加入所述玻璃纤维粉控制所述树脂板的厚度为25mm±0.5mm时，其密度为0.5-0.7g/cm3；在所述树脂板的中部沿其长度方向设有至少两个通孔，所述通孔间隔均匀分布。
2.如权利要求1所述金刚线切割硅片用树脂板，其特征在于：在树脂板的中部设有3个间隔均匀分布、直径为10mm±0.5mm的圆形通孔。
3.如权利要求1所述金刚线切割硅片用树脂板，其特征在于：所述树脂板加工时，所述玻璃纤维粉在树脂搅拌后加入。
4.如权利要求1所述金刚线切割硅片用树脂板，其特征在于：所述树脂板的硬度为邵氏A50±3。
5.如权利要求1所述金刚线切割硅片用树脂板，其特征在于：所述树脂板的尺寸为156*700*25mm。
6.如权利要求1所述金刚线切割硅片用树脂板的脱胶处理方法，其特征在于：将带有喷淋孔的水管插入所述树脂板通孔内，连接水源进行对硅片进行喷淋冲洗，水压为0.03帕-0.05帕。
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