[发明专利]一种Fe、Al、Co、Cu、Cr、Mn合金靶材的制备方法有效
| 申请号： | 201711168474.7 | 申请日： | 2017-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN108103464B | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 郑作赟;卢新昌;林明宇;吴东辉;姜青阳;曲秋实 | 申请（专利权）人： | 航天海鹰(哈尔滨)钛业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;B22F9/04;B22F3/105;B22F3/15 |
| 代理公司： | 23211 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 | 代理人： | 蔡岩岩<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 150028 黑*** | 国省代码： | 黑龙;23 |
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| 摘要： | 一种Fe、Al、Co、Cu、Cr、Mn合金靶材的制备方法，属于粉末冶金技术领域。本发明解决了目前合金靶材加工过程中原料易氧化、原料间结合力差、浸润不良而导致靶材致密度低、机械加工及成型性能差等问题，本发明选择纯度大于99.9％的Fe、Al、Co、Cu、Cr、Mn块状金属，按照原子等摩尔比比例进行配比混合，在非自耗真空熔炼炉中，对混合后的合金原料进行熔炼、粉末化、粉末化烧结及热等静压处理，冷却出炉后获得Fe、Al、Co、Cu、Cr、Mn合金靶材。本方法可广泛用于金属‑氧化物复合材料的制造，并适合进行连续性的工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 合金靶材 粉末化 制备 非自耗真空熔炼炉 氧化物复合材料 粉末冶金技术 成型性能 等摩尔比 合金原料 机械加工 块状金属 配比混合 热等静压 烧结 熔炼 结合力 易氧化 靶材 出炉 浸润 冷却 金属 制造 | ||
【主权项】：
1.一种Fe、Al、Co、Cu、Cr、Mn合金靶材的制备方法，其特征在于，该方法包括下述工艺流程：/n(1)原材料的选择与配比：分别选择纯度大于99.9％的Fe、Al、Co、Cu、Cr、Mn块状金属，按照原子等摩尔比比例进行配比混合，获得合金原料；/n(2)合金熔炼：在非自耗真空熔炼炉中，对混合后的合金原料进行熔炼处理，获得合金铸锭；/n(3)合金铸锭的粉末化：将熔炼完成的合金铸锭，经粉末化处理后获得合金粉末；/n(4)粉末烧结处理：对合金粉末进行烧结处理；/n(5)热等静压处理：将步骤(4)获得的烧结后的合金粉末进行热等静压处理，然后出炉获得合金靶材；/n步骤3)所述粉末化处理的方法为机械冲压细化法和机械球磨法，机械球磨法采用的球磨球为GGr15，球料比为8:1，球磨时间为3h；/n步骤(4)所述烧结为放电等离子烧结，在真空度为6Pa，烧结压力为40MPa，烧结温度为800℃的条件下进行，保温时间10min。/n
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