[发明专利]一种快速测量薄膜材料热容的装置和方法有效
| 申请号： | 201711165318.5 | 申请日： | 2017-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN107941850B | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 项晓东;武跃维;汪晓平 | 申请（专利权）人： | 宁波英飞迈材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N25/20 | 分类号： | G01N25/20;G01N25/18 |
| 代理公司： | 上海一平知识产权代理有限公司 31266 | 代理人： | 姜龙;徐迅 |
| 地址： | 315000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种快速测量薄膜材料热容的装置和方法，具体地，该装置包括控制设备、时钟同步器、平顶峰激光设备、快速测温仪以及热容输出设备；控制设备和时钟同步器信号连接，时钟同步器同时与平顶峰激光设备和快速测温仪信号连接；在工作状态下，控制设备向时钟同步器发送启动信号，平顶峰激光设备和快速测温仪协调联动，平顶峰激光设备将能量空间分布为平顶峰的激光照射到样品表面，与此同时，快速测温仪捕捉在样品加热过程中某一个时间点的样品的表面温度，将测得的数据输入热容输出设备，得到所需热容参数。本发明的装置结构简单，方法高效准确，可为目前的各种超薄半导体薄膜热物性的设置提供可靠的参数数据。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 测量 薄膜 材料 热容 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种快速测量薄膜材料热容的装置，其特征在于，所述装置包括控制设备、时钟同步器、平顶峰激光设备、快速测温仪以及热容输出设备；所述控制设备和所述时钟同步器信号连接，所述时钟同步器同时与所述平顶峰激光设备和所述快速测温仪信号连接；在工作状态下，所述控制设备向所述时钟同步器发送启动信号，所述平顶峰激光设备和所述快速测温仪协调联动，所述平顶峰激光设备将能量空间分布为平顶峰的激光照射到样品表面，与此同时，所述快速测温仪捕捉在所述样品加热过程中某一个时间点的所述样品的表面温度，将测得的数据输入所述热容输出设备，得到所需热容参数。
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