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[发明专利]一种衍射消光摇摆曲线成像测量装置和方法-CN201811284891.2有效
发明人：汪晓平;郭宏杰 -专利权人： 宁波英飞迈材料科技有限公司
申请日： 2018-10-31 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： G01N23/207 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种衍射消光摇摆曲线成像测量装置和方法。衍射消光摇摆曲线成像测量装置包括：X射线源，用于产生X射线光束；X射线光学器件，用于对接收到的所述X射线光束进行单色化以及平行准直处理，输出平行单色X射线光束，以照射在单晶样品上；多维样品台，用于安置所述单晶样品，带动所述单晶样品进行移动和/或转动；二维X射线探测器，设置在所述X射线光束线照射所述单晶样品后的透射光方向处，用于接收透射光束强度和衍射光束强度并形成二维图像。本发明实施例的技术方案提高了摇摆曲线成像数据的精确度和分辨率。
一种衍射摇摆曲线成像测量装置方法

[发明专利]一种椭圆偏振光测量装置及测量方法-CN201710894030.5有效
发明人：汪晓平;陈良尧;项晓东 -专利权人： 宁波英飞迈材料科技有限公司
申请日： 2017-07-18 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： G01N21/21 文献下载
摘要：本发明提供一种椭圆偏振光测量装置，其包括依次经光路连接的光源、起偏器、样品架、集成检偏器以及探测器组件；所述样品架用于放置待测样品，光源发出的光线经过起偏器照射到待测样品，待测样品将光反射到所述集成检偏器；所述集成检偏器包括多个偏振器，每个偏振器的方位角在0‑180°之间分布，从待测样品反射出来的光线入射到偏振器；所述探测器组件包括多个探测器，所述探测器与所述偏振器一一对应设置，独立检测每一偏振器的光学信号。本发明所提供的高速椭圆偏振光测量系统具有采样效率更高，可以快速获取偏振器接近纳秒级别的高速动态参数的优点，本发明还提供一种椭圆偏振光测量方法。
一种椭圆偏振光测量装置测量方法

[发明专利]一种材料输运性能测量系统和测量方法-CN201710588097.6有效
发明人：汪晓平;项晓东 -专利权人： 宁波英飞迈材料科技有限公司
申请日： 2017-07-18 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： G01N21/55 文献下载
摘要：本发明提供一种材料输运性能测量系统，包括椭圆偏振测量装置以及热容测取装置以及控制器，椭圆偏振测量装置依次经光路连接的光源、起偏器、样品架、集成检偏器以及探测器组件；光源发出的光线经过起偏器照射到待测样品，待测样品将光反射到集成检偏器；从待测样品反射出来的多个偏振光线入射到集成偏振器，所述探测器组件与集成偏振器连接分别检测所述多个光学信号，并将多个光学信号对应转换为多个第一电信号输出给控制器；热容测取装置非接触式测量待测样品的温度参数，并将温度参数转换为第二电信号输出给控制器；控制器解析第二电信号和多个第一电信号以获取材料输运性能参数。本发明还提供一种材料输运性能测量方法。
一种材料输运性能测量系统测量方法

[发明专利]一种用于原位合成和实时表征的高通量组合材料实验设备及相关方法-CN201680036952.6有效
发明人：项晓东;汪洪 -专利权人： 宁波英飞迈材料科技有限公司;项晓东
申请日： 2016-06-22 - 公布日： 2021-05-04 - 主分类号： C40B50/14 文献下载
摘要：一种用于原位合成和实时表征的高通量组合材料实验设备包括成分散布装置，用于制备作为高通量实验样品库的前驱体的连续或分立的成分分布；低温扩散混合装置，用于在相对低的温度下在厚度方向上通过扩散充分混合所述成分散布体以形成非晶前驱体；和集成的合成‑表征单元，用于在不同的热力学条件下以并行式或逐点扫描式热处理所述材料库前驱体用于成相和以原位和实时的方式表征感兴趣的材料的特征和性能。所述集成的合成‑表征单元包括维持在所需真空度和气氛的腔体、微区加热源、激励源、信号采集器和样品台。
一种用于原位合成实时表征通量组合材料实验设备相关方法

[发明专利]一种微区激光加热装置及加热方法-CN201810005079.5有效
发明人：余应明;武跃维;汪晓平 -专利权人： 宁波英飞迈材料科技有限公司
申请日： 2018-01-03 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： G01N1/44 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种微区激光加热装置及加热方法。该微区激光加热装置包括：激光特性确定模块，用于根据样品的当前待加热微区的参数，得到加热所需激光的第一特性参数；控制器，与激光特性确定模块电连接，用于根据第一特性参数生成控制信号；激光输出模块，与控制器电连接，用于根据控制信号输出激光，以加热样品的待加热微区。本发明实施例提供的微区激光加热装置及加热方法，可以实现对高通量组合材料样品待加热微区精确加热，且避免待加热微区相邻区域材料受热引起周边区域出现相变或由于加热引起样品内部分子或原子迁徙而产生组分污染，可应用于低维度、高密度材料的热处理或相变研究。
一种激光加热装置方法

[发明专利]一种快速测量薄膜材料热容的装置和方法-CN201711165318.5有效
发明人：项晓东;武跃维;汪晓平 -专利权人： 宁波英飞迈材料科技有限公司
申请日： 2017-11-21 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： G01N25/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种快速测量薄膜材料热容的装置和方法，具体地，该装置包括控制设备、时钟同步器、平顶峰激光设备、快速测温仪以及热容输出设备；控制设备和时钟同步器信号连接，时钟同步器同时与平顶峰激光设备和快速测温仪信号连接；在工作状态下，控制设备向时钟同步器发送启动信号，平顶峰激光设备和快速测温仪协调联动，平顶峰激光设备将能量空间分布为平顶峰的激光照射到样品表面，与此同时，快速测温仪捕捉在样品加热过程中某一个时间点的样品的表面温度，将测得的数据输入热容输出设备，得到所需热容参数。本发明的装置结构简单，方法高效准确，可为目前的各种超薄半导体薄膜热物性的设置提供可靠的参数数据。
一种快速测量薄膜材料热容装置方法

[发明专利]微区加热装置-CN201510005522.5有效
发明人：张晓琨;张海涛;向勇 -专利权人： 宁波英飞迈材料科技有限公司
申请日： 2015-01-04 - 公布日： 2019-08-16 - 主分类号： G01N25/00 文献下载
摘要：本发明涉及材料科学实验技术领域，尤其涉及一种微区加热装置，通过加热源经具有一通孔的掩模板对样品进行加热，并通过一位移控制设备改变样品与掩模板的相对位置，以满足材料样品生产中对同一加热样品的不同位置加热到不同温度的要求，以充分发挥高通量组合材料实验技术在分立热力学样品研究中的应用，并以较低的成本实现组合材料芯片中大量微小样品的分立热力学条件研究。
加热装置

[实用新型]高通量CVD装置-CN201820744022.2有效
发明人：邬苏东;汪晓平;杨熹;叶继春;张欢;项晓东;盛江 -专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所;宁波英飞迈材料科技有限公司
申请日： 2018-05-18 - 公布日： 2019-03-22 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高通量CVD装置，包括：反应腔室；设置于反应腔室内的沉积台；气体导入装置，与沉积表面之间可围成多个独立的沉积微区，气体导入装置上形成有多个独立的反应气体进入通道，每个反应气体进入通道分别连通于一个所述沉积微区，每个沉积微区分别具有反应气体出口。实用新型本实用新型通过一次实验可以实现不同气氛、连续温度变化和不同衬底材料的组合工艺条件的研究，大大加快试验效率，加快新材料和工艺的开发和筛选。
沉积微区气体导入装置本实用新型反应气体高通量反应气体出口衬底材料反应腔室试验效率组合工艺沉积台反应腔连通筛选室内开发研究

[实用新型]高通量PECVD装置-CN201820744630.3有效
发明人：项晓东;邬苏东;张欢;杨熹;盛江;叶继春 -专利权人： 宁波英飞迈材料科技有限公司;中国科学院宁波材料技术与工程研究所
申请日： 2018-05-18 - 公布日： 2019-01-11 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高通量PECVD装置，包括：反应腔室；设置于反应腔室内的沉积台，沉积台的沉积表面分立有多个独立的沉积微区，每个所述沉积微区的温度独立可调；每个所述沉积微区分别对应有一等离子体激发单元，每个所述等离子体激发单元分别包括一反应气体导入通道。实用新型本实用新型通过一次实验可以实现几十个或上百个工艺条件的研究，大大加快试验效率，加快新材料和工艺的开发和筛选；大大提高衬底材料的利用率，减少成本；大大减少新材料和新工艺的开发时间和开发成本，加速新材料的开发进程和应用。
沉积微区等离子体激发本实用新型沉积台高通量开发衬底材料导入通道反应气体反应腔室工艺条件试验效率温度独立反应腔新工艺分立可调筛选室内应用进程研究

[发明专利]一种电化学组合材料芯片-CN201410816018.9有效
发明人：张晓琨;张海涛;向勇 -专利权人： 宁波英飞迈材料科技有限公司
申请日： 2014-12-24 - 公布日： 2018-11-09 - 主分类号： G01N27/416 文献下载
摘要：本发明涉及材料科学实验技术领域，尤其涉及到一种电化学组合材料芯片，通过在一基底上集成样品区域阵列，并于该区域中设置有集流电极与待测试的样品，并通过一电极引线实现集流电极与金手指的电连接，进而实现各样品分别独立的通过集流电极、电极引线、金手指接口和一外部电化学测试仪形成电流通路，并进行后续的电化学性能分析，并可以大大提高电化学性能测试的效率并完全满足高通量电化学性能测试的要求。
一种电化学组合材料芯片

[发明专利]高通量CVD装置及其沉积方法-CN201810479661.5在审
发明人：邬苏东;汪晓平;杨熹;叶继春;张欢;项晓东;盛江 -专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所;宁波英飞迈材料科技有限公司
申请日： 2018-05-18 - 公布日： 2018-08-17 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开了一种高通量CVD装置，包括：反应腔室；设置于反应腔室内的沉积台；气体导入装置，与沉积表面之间可围成多个独立的沉积微区，气体导入装置上形成有多个独立的反应气体进入通道，每个反应气体进入通道分别连通于一个所述沉积微区，每个沉积微区分别具有反应气体出口。本发明还公开了一种高通量CVD沉积方法，包括：在沉积区域的第一方向上形成阵列分布的多个独立的沉积微区，每个沉积微区可独立通入不同的反应气体；在沉积区域的第二方向上形成不同的温度分布，第一方向垂直于第二方向。本发明通过一次实验可以实现不同气氛、连续温度变化和不同衬底材料的组合工艺条件的研究，大大加快试验效率，加快新材料和工艺的开发和筛选。
沉积微区反应气体高通量气体导入装置沉积区域反应气体出口衬底材料反应腔室方向垂直试验效率温度分布阵列分布组合工艺沉积台反应腔连通筛选室内开发研究

[发明专利]高通量PECVD装置和方法-CN201810480213.7在审
发明人：项晓东;邬苏东;张欢;杨熹;盛江;叶继春 -专利权人： 宁波英飞迈材料科技有限公司;中国科学院宁波材料技术与工程研究所
申请日： 2018-05-18 - 公布日： 2018-08-14 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种高通量PECVD装置，包括：反应腔室；设置于反应腔室内的沉积台，沉积台的沉积表面分立有多个独立的沉积微区，每个所述沉积微区的温度独立可调；每个所述沉积微区分别对应有一等离子体激发单元，每个所述等离子体激发单元分别包括一反应气体导入通道。本发明还公开了一种高通量PECVD薄膜沉积方法，将位于同一反应腔室的沉积区域，分立成多个独立的沉积微区，每个沉积微区的反应气体和温度独立可控。本发明通过一次实验可以实现几十个或上百个工艺条件的研究，大大加快试验效率，加快新材料和工艺的开发和筛选；大大提高衬底材料的利用率，减少成本；大大减少新材料和新工艺的开发时间和开发成本，加速新材料的开发进程和应用。
沉积微区高通量等离子体激发反应气体反应腔室温度独立沉积台分立开发薄膜沉积沉积区域衬底材料导入通道工艺条件试验效率反应腔新工艺可调可控筛选室内应用进程研究

[发明专利]一种脉冲式X射线发生装置及产生方法-CN201810069337.6在审
发明人：汪晓平 -专利权人： 宁波英飞迈材料科技有限公司
申请日： 2018-01-24 - 公布日： 2018-07-10 - 主分类号： H01J35/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种脉冲式X射线发生装置，所述装置包括：脉冲式电子源(1)以及阵列式阳极靶，所述阵列式阳极靶包括金刚石(3)和镶嵌在其上的阵列式金属靶(2)；所述脉冲式电子源(1)位于阵列式金属靶(2)的上方。利用脉冲式电子束轰击到镶嵌在金刚石上的阵列式金属靶后，可产生出瞬时的高亮度X射线，其瞬间光强可达2.4×1011phs/mm2/us，提高了瞬态测量的效率，为瞬态物性表征提供可能。本发明得到的瞬时的高亮度X射线可与脉冲激光升温系统结合，原位改变材料物性的同时实时测定材料结构、成分的变化信息，所得X射线能够在极短时间内对材料的结构进行测量，弥补了现有实验室光源技术的不足，具有良好的应用前景。
脉冲式阵列式金属靶金刚石电子源阳极靶镶嵌电子束轰击物性变化信息材料结构改变材料光源技术脉冲激光升温系统实时测定瞬态测量物性表征光强瞬态测量应用

[发明专利]一种样品台-CN201510893319.6有效
发明人：向勇;蒋常龙;曹德;王维;项晓东 -专利权人： 宁波英飞迈材料科技有限公司
申请日： 2015-11-27 - 公布日： 2018-06-01 - 主分类号： G01R1/02 文献下载
摘要：本发明涉及材料微波波段电磁学参数测量领域，尤其涉及一种样品台。本申请设计的一种样品台，该样品台通过样品台组件、升降组件、传动组件和外壳组件组成，升降组件和传动组件精密连接，可以实现微小距离的传动，这样就可以精确控制样品台组件的移动距离，进而在观测样品时可以更加从容改变观测距离，时刻保持着在固定的微小距离上观测样品，另外，样品台是可以自由伸缩的，这样可以满足对不同尺寸样品的观测的要求，方便且灵活。
样品台样品台组件传动组件观测样品升降组件微小距离参数测量尺寸样品观测距离台本发明外壳组件微波波段自由伸缩电磁学固定的传动精密观测灵活申请

[发明专利]一种离子源维护装置及离子源维护方法-CN201510408020.7有效
发明人：闫宗楷;向勇;徐子明 -专利权人： 宁波英飞迈材料科技有限公司
申请日： 2015-07-10 - 公布日： 2017-12-12 - 主分类号： C23C14/46 文献下载
摘要：本发明涉及离子束溅射镀膜技术领域，尤其涉及一种离子源维护装置及离子源维护方法，通过插板阀将离子源维护腔与真空腔体分隔设置，在不将真空腔体暴露于大气环境下对离子源进行维护，避免了真空腔体的污染；并且由于离子源外侧加装了隔离保护套，使得射频离子源不会干扰腔体内带电粒子的正常运动，在进行镀膜工艺时离子源可在真空腔体内部进行移动，可调节靶源距离，改变束斑大小和束流空间分布，进而调节薄膜沉积质量和空间分布情况。
一种离子源维护装置方法

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