[发明专利]一种快速测量薄膜材料热容的装置和方法

权利要求书

1.一种快速测量薄膜材料热容的装置，其特征在于，所述装置包括控制设备、时钟同步器、平顶峰激光设备、快速测温仪以及热容输出设备；

所述控制设备和所述时钟同步器信号连接，所述时钟同步器同时与所述平顶峰激光设备和所述快速测温仪信号连接；

在工作状态下，所述控制设备向所述时钟同步器发送启动信号，所述平顶峰激光设备和所述快速测温仪协调联动，所述平顶峰激光设备将能量空间分布为平顶峰的激光照射到样品表面，在所述激光的中心处形成一个半无限大的热传导模型，与此同时，所述快速测温仪捕捉在所述样品加热过程中某一个时间点的所述样品的表面温度，将测得的数据输入所述热容输出设备，得到所需热容参数；

所述样品包括薄膜和基底，所述薄膜覆盖于所述基底的表面，所述激光照射到所述薄膜上；

其中，平顶峰激光是指在所述激光照射到所述薄膜上形成的光斑范围内具有一致激光能量的激光。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述平顶峰激光设备包括激光器、扩束镜、空间光整形器和聚焦镜。

3.如权利要求2所述的装置，其特征在于，在工作状态下，从所述激光器发射激光，所述激光先经过所述扩束镜，所述激光光强降低，所述激光再经过所述空间光整形器，所述激光的能量空间分布从高斯空间分布整形为平顶峰空间分布，所述激光最后经过所述聚焦镜，照射到所述样品的表面。

4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述快速测温仪和所述热容输出设备信号连接，所述快速测温仪直接将测得的数据发送至所述热容输出设备。

5.如权利要求1所述的装置，其特征在于，通过操作者手动将所述快速测温仪测得的数据输入到所述热容输出设备。

6.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述热容输出设备包括显示器，所述显示器用于显示热容值。

7.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述控制设备为计算机。

8.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述热容输出设备为计算机。

9.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述控制设备和所述热容输出设备为同一台计算机。