[发明专利]基板检查设备及基板检查方法在审
| 申请号： | 201711116221.5 | 申请日： | 2017-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN107907549A | 公开（公告）日： | 2018-04-13 |
| 发明（设计）人： | 朱秋虹;裴龙 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/896 | 分类号： | G01N21/896 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司44304 | 代理人： | 孙伟峰,阳志全 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板检查设备，包括支架，包括托盘和支撑件，托盘用于承载待检查的基板，在竖直方向上可旋转地支撑在支撑件上；光源，设于托盘斜上方，用于朝托盘上的基板表面照射光线；镜头组，设于托盘上方，并朝向托盘，用于在托盘转动的过程中拍摄托盘上的基板的图像；观察台，在水平方向上与托盘间隔设置，供操作者观察托盘上的基板的表面；监视器，设于观察台旁，用于显示镜头组拍摄的基板的图像。本发明还公开了一种基板检查方法。在托盘转动过程中可以通过人眼观察基板表面以检查外观完好情况，也可以通过监视器检查拍摄的基板的图像而检查是否有暗影不良的现象发生，对检查人员的经验并无特别要求，作业时间短、效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种基板检查设备，其特征在于，包括：支架(10)，包括托盘(11)和支撑件(12)，所述托盘(11)用于承载待检查的基板(P)，在竖直方向上可旋转地支撑在所述支撑件(12)上；光源(20)，设于所述托盘(11)斜上方，用于朝所述托盘(11)上的所述基板(P)表面照射光线；镜头组(30)，设于所述托盘(11)上方，并朝向所述托盘(11)，用于在所述托盘(11)转动的过程中拍摄所述托盘(11)上的所述基板(P)的图像；观察台(40)，在水平方向上与所述托盘(11)间隔设置，用以承载操作者观察所述托盘(11)上的所述基板(P)的表面；监视器(50)，设于所述观察台(40)旁，用于显示所述镜头组(30)拍摄的所述基板(P)的图像。
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