[发明专利]基板检查设备及基板检查方法

权利要求书

1.一种基板检查设备，其特征在于，包括：

支架(10)，包括托盘(11)和支撑件(12)，所述托盘(11)用于承载待检查的基板(P)，在竖直方向上可旋转地支撑在所述支撑件(12)上；

光源(20)，设于所述托盘(11)斜上方，用于朝所述托盘(11)上的所述基板(P)表面照射光线；

镜头组(30)，设于所述托盘(11)上方，并朝向所述托盘(11)，用于在所述托盘(11)转动的过程中拍摄所述托盘(11)上的所述基板(P)的图像；

观察台(40)，在水平方向上与所述托盘(11)间隔设置，用以承载操作者观察所述托盘(11)上的所述基板(P)的表面；

监视器(50)，设于所述观察台(40)旁，用于显示所述镜头组(30)拍摄的所述基板(P)的图像。

2.根据权利要求1所述的基板检查设备，其特征在于，所述支撑件(12)还包括第一支撑件(121)和第二支撑件(122)，所述托盘(11)在竖直方向上可旋转地支撑在第一支撑件(121)上，所述第一支撑件(121)沿竖直方向上可移动地设于所述第二支撑件(122)上。

3.根据权利要求2所述的基板检查设备，其特征在于，所述第二支撑件(122)上设有液压缸(122a)，所述液压缸(122a)的活塞杆(121a)固定在所述第一支撑件(121)上。

4.根据权利要求1所述的基板检查设备，其特征在于，所述支架(10)还包括底座(13)，所述支撑件(12)沿水平方向可转动地设于所述底座(13)上。

5.根据权利要求1所述的基板检查设备，其特征在于，所述光源(20)的边缘设有红外线收发器(200)，用于朝所述托盘(11)发射红外线以校准所述光源(20)的朝向。

6.根据权利要求1-5任一所述的基板检查设备，其特征在于，所述支架(10)还包括两条平行设置的滑轨(14)，所述底座(13)沿所述滑轨(14)的延伸方向可滑动地设于所述滑轨(14)上。

7.根据权利要求6所述的基板检查设备，其特征在于，所述滑轨(14)内侧设有凹陷的滑槽，所述底座(13)的两端分别嵌设于所述滑槽内。

8.根据权利要求6所述的基板检查设备，其特征在于，所述镜头组(30)包括多个镜头(300)，所述镜头(300)沿所述滑轨(14)的延伸方向成排设置。

9.一种基板检查方法，其特征在于，使用权利要求1-8任一所述的基板检查设备，包括：

利用光源(20)照射托盘(11)上的基板(P)；

人眼观察基板(P)表面，以检查基板(P)的外观；

拍摄基板(P)的图像，操作者通过监视器(50)观察所拍摄的基板(P)的图像，以检查图片中有无暗影；

在竖直方向上转动托盘(11)，再次拍摄基板(P)的图像，操作者再次通过监视器(50)观察所拍摄的基板(P)的图像，直至托盘(11)转动至基板(P)脱离拍摄视角。

10.根据权利要求9所述的基板检查方法，其特征在于，还包括转动支撑件(12)，并拍摄基板(P)的图像，操作者通过监视器(50)观察所拍摄的基板(P)的图像。