[发明专利]基板检查设备及基板检查方法

说明书

技术领域

本发明涉及显示面板制造领域，尤其涉及一种基板检查设备及基板检查方法。

背景技术

在液晶显示器(LCD)等平板显示器(FPD)的制造工序中，存在用目视检查在各制造工序中制造的透明基板的外观的检查工序，称为宏观检查。在该宏观检查工序中，通常采用Macro(宏观检查机)设备对基板制品进行宏观不良检查，通过将保持玻璃基板的基板保持器(Stage)立起成预定角度的状态下从上方照射宏观照明光，就能够进行该玻璃基板上的缺陷检查。

宏观检查的大致流程如下：上游端将玻璃基板传至Macro的Stage，然后由检查人员通过操作平台上下左右摇晃玻璃基板，同时用人眼辨别Mura(暗影)，再由机械手取出玻璃基板，使其进入下一工序。玻璃基板Mura的检测，主要是通过人员肉眼检查，对人员的熟练度、经验等要求较高，作业时间较长，且易出现漏检等情况。

发明内容

鉴于现有技术存在的不足，本发明提供了一种检查方便、效率高的基板检查设备及基板检查方法。

为了实现上述的目的，本发明采用了如下的技术方案：

一种基板检查设备，包括：

支架，包括托盘和支撑件，所述托盘用于承载待检查的基板，在竖直方向上可旋转地支撑在所述支撑件上；

光源，设于所述托盘斜上方，用于朝所述托盘上的所述基板表面照射光线；

镜头组，设于所述托盘上方，并朝向所述托盘，用于在所述托盘转动的过程中拍摄所述托盘上的所述基板的图像；

观察台，在水平方向上与所述托盘间隔设置，用以承载操作者观察所述托盘上的所述基板的表面；

监视器，设于所述观察台旁，用于显示所述镜头组拍摄的所述基板的图像。

作为其中一种实施方式，所述支撑件还包括第一支撑件和第二支撑件，所述托盘在竖直方向上可旋转地支撑在第一支撑件上，所述第一支撑件沿竖直方向上可移动地设于所述第二支撑件上。

作为其中一种实施方式，所述第二支撑件上设有液压缸，所述液压缸的活塞杆固定在所述第一支撑件上。

作为其中一种实施方式，所述支架还包括底座，所述支撑件沿水平方向可转动地设于所述底座上。

作为其中一种实施方式，所述光源的边缘设有红外线收发器，用于朝所述托盘发射红外线以校准所述光源的朝向。

作为其中一种实施方式，所述支架还包括两条平行设置的滑轨，所述底座沿所述滑轨的延伸方向可滑动地设于所述滑轨上。

作为其中一种实施方式，所述滑轨内侧设有凹陷的滑槽，所述底座的两端分别嵌设于所述滑槽内。

作为其中一种实施方式，所述镜头组包括多个镜头，所述镜头沿所述滑轨的延伸方向成排设置。

本发明的另一目的在于提供一种基板检查方法，使用所述的基板检查设备，包括：

利用光源照射托盘上的基板；

人眼观察基板表面，以检查基板的外观；

拍摄基板的图像，操作者通过监视器观察所拍摄的基板的图像，以检查图片中有无暗影；

在竖直方向上转动托盘，再次拍摄基板的图像，操作者再次通过监视器观察所拍摄的基板的图像，直至托盘转动至基板脱离拍摄视角。

作为其中一种实施方式，所述的基板检查方法还包括转动支撑件，并拍摄基板的图像，操作者通过监视器观察所拍摄的基板的图像。

本发明通过将待检查的基板放置到托盘上，通过控制托盘的转动而控制待检查的基板的朝向，可以通过人眼观察基板表面以检查外观完好情况，另一方面也能通过监视器检查拍摄的基板的图像，以检查是否有暗影不良的现象发生，对检查人员的经验并无特别要求，作业时间短、效率高。

附图说明

图1为本发明实施例的基板检查设备的使用状态示意图；

图2为本发明实施例的基板检查方法的主要流程框图。

具体实施方式

在本发明中，术语“设置”、“设有”、“连接”应做广义理解。例如，可以是固定连接，可拆卸连接，或整体式构造；可以是机械连接，或电连接；可以是直接相连，或者是通过中间媒介间接相连，又或者是两个装置、元件或组成部分之间内部的连通。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。