[发明专利]磁悬浮式基板传送装置

摘要

本发明公开了磁悬浮式基板传送装置，以非接触方式运输转向架，从而最小化由于转向架和基板间的重力摩擦而产生颗粒。包括：具有在其一侧以形状开口的内部空间的截面形状且下侧安装有多个磁体的转向架；具有固定在地面的固定板以及与固定板垂直的垂直板的固定框架；一侧安装在固定框架的垂直板用以运输转向架的辊单元；一侧与设置在固定框架的垂直板上部的辊单元间隔设置，上部设置磁体，用于在转向架移动时浮动转向架的浮动单元；和设置在转向架下部且包含外周面有多个磁体的辊的驱动装置，辊单元和浮动单元以固定间隔相隔开且顺序设置在固定框架垂直板上部，辊单元和浮动单元的另一端通过转向架开口部分位于内部空间中以浮起和运送转向架。

主权项

1.一种磁悬浮式基板传送装置，其特征在于，所述装置包括：具有在其一侧以形状开口的内部空间(21)的截面形状，且所述内部空间(21)的上表面一侧安装有第一磁体(22)的转向架(20)；固定框架(30)，具有固定在地面的固定板(31)，和从所述固定板(31)垂直形成的垂直板(32)；辊单元(40)，其一侧安装在固定框架(30)的垂直板(32)上部，两侧有第二磁体(44)，且贯穿所述转向架(20)的内部空间(21)；浮动单元(50)，其一侧与设置在所述固定框架(30)的垂直板(32)上部的所述辊单元(40)间隔设置，上部设置有第三磁体(51)，用于在所述转向架(20)移动时浮动所述转向架(20)；以及驱动装置(60)，用于传送所述转向架(20)，所述辊单元(40)在进入由所述驱动装置(60)传送的所述转向架(20)的内部空间(21)时凭借与所述转向架(20)的第一磁体(22)的磁力稳定进入。