[发明专利]磁悬浮式基板传送装置

说明书

本发明公开了磁悬浮式基板传送装置，以非接触方式运输转向架，从而最小化由于转向架和基板间的重力摩擦而产生颗粒。包括：具有在其一侧以形状开口的内部空间的截面形状且下侧安装有多个磁体的转向架；具有固定在地面的固定板以及与固定板垂直的垂直板的固定框架；一侧安装在固定框架的垂直板用以运输转向架的辊单元；一侧与设置在固定框架的垂直板上部的辊单元间隔设置，上部设置磁体，用于在转向架移动时浮动转向架的浮动单元；和设置在转向架下部且包含外周面有多个磁体的辊的驱动装置，辊单元和浮动单元以固定间隔相隔开且顺序设置在固定框架垂直板上部，辊单元和浮动单元的另一端通过转向架开口部分位于内部空间中以浮起和运送转向架。

技术领域

本发明涉及磁悬浮式基板传送装置技术领域，尤其涉及一种通过转向架的非接触式传送而使得转向架与基板之间的摩擦导致的颗粒产生最小化的磁悬浮式基板传送装置。

背景技术

通常，作为传送诸如LCD(液晶显示器)基板、PDP(等离子体显示面板)基板、OLED(有机发光二极管)基板、半导体晶片、转印托盘、盒式磁带或载体等传送物体的传送系统主要采用磁悬浮式传送系统。

磁悬浮式传送系统可以解决由于颗粒产生，摩擦、磨损导致的零部件磨损问题和噪音诱发问题，同时能够高速传送被传送物体。

磁悬浮式传送系统是通过磁力悬挂和运送载有被传送物体的传送体的系统，由于传送体和轨道之间没有机械接触或摩擦，因而可以实现没有能量损失和噪音，低振动，超洁净传送系统。这种磁悬浮传送系统可以在真空中操作，并且在对人体有危害的气体或液体中也可以操作，因此可以在许多领域中使用。

在磁悬浮传送系统的情况下，存在需要诸如磁悬浮力和导向力、驱动力，通常由悬浮电磁铁提供磁悬浮力和导向力，由线性感应电动机或线性同步电动机提供驱动力。

然而，在传统的磁悬浮式传送系统中，在安装诸如LCD或LED等显示产品的传送体侧设置有浮动电磁体(包括电磁铁芯和驱动线圈)，因此传送体的电磁铁芯产生的热量会传递到显示产品，从而存在损坏对热敏感的显示产品的问题。

此外，随着诸如LCD、LED和OLED等显示面板的尺寸逐渐增加，用于传送这些的磁悬浮传送系统的承重也逐渐增加。例如，在第八代OLED制造工序中，玻璃基板(Glass)和转印托盘的重量预计超过一吨，并且各工序的传送距离也预期会达到几十米。

基于此，电磁体的尺寸也会变大，由电磁铁产生的热量也会变得更大。然而，应用于现有磁悬浮传送系统的电磁体在实现该目的方面存在限制。

发明内容

技术问题

为了改善现有技术中存在的上述问题，本发明提供了一种新型磁悬浮式基板传送装置，通过允许非接触地输送转向架而最小化由于转向架与基板之间的重力摩擦导致的颗粒产生。

用于解决问题的方案

为了实现所述目的，根据本发明的一个方面，其特征在于包括转向架20，其具有在其一侧以“ㄈ”形状开口的内部空间21的截面形状，且所述内部空间21的上表面一侧安装有第一磁体22；固定框架30，其具有固定在地面的固定板31，且从所述固定板31垂直形成的垂直板32；辊单元40，其一侧安装在固定框架30的垂直板32，两侧有第二磁体44，且贯穿所述转向架20的内部空间21；浮动单元50，其一侧与设置在所述固定框架30的垂直板32上部的所述辊单元40间隔设置，上部设置有第三磁体51，用于在所述转向架20移动时浮动所述转向架20；和驱动装置60，用于传送所述转向架20，所述辊单元40在进入由所述驱动装置60传送的所述转向架20的内部空间21时凭借与所述转向架20的第一磁体22的磁力稳定进入。