[发明专利]硅片烘干炉

摘要

本发明涉及太阳能电池硅片生产技术领域，尤其是涉及硅片烘干炉，炉体具有硅片输送烘干空间，并在该硅片输送烘干空间的上下侧分别设有上加热装置和下加热装置；在所述硅片输送烘干空间内设有实现硅片侧立输送的输送装置，上加热装置和下加热装置沿着硅片输送烘干空间的长度方向分区设置，上加热装置具有向下辐射热量的上加热体及上风箱，下加热装置具有向上辐射热量的下加热体及下风箱；炉体上还设有排气装置。硅片侧立输送，上加热体和下加热体同时对硅片的正面与背面加热烘干，缩短工艺时间；上风箱和下风箱促进烘干温度均匀化，节能、环保，无温差死角，满足HIT太阳能光伏电池硅片生产，且节约生产空间，提高生产效率同时满足生产品质要求。

主权项

硅片烘干炉，包括有炉体（1），其特征在于：该炉体（1）具有硅片输送烘干空间，并在该硅片输送烘干空间的上下侧分别设有上加热装置（2）和下加热装置（3）；在所述硅片输送烘干空间内设有用于输送硅片的输送装置（4），输送装置（4）上设有实现硅片侧立输送的载具（41），载具（41）满足硅片的上下侧面受热烘干；所述上加热装置（2）和下加热装置（3）沿着硅片输送烘干空间的长度方向分区设置，上加热装置（2）具有向下辐射热量的上加热体（21）及上风箱（22），上风箱（22）循环向下吹风；下加热装置（3）具有向上辐射热量的下加热体（31）及下风箱（32），下风箱（32）循环向上吹风；所述炉体（1）上还设有排气装置（5），排气装置（5）连通炉体（1）的硅片输送烘干空间。