[发明专利]硅片烘干炉

权利要求书

1.硅片烘干炉，包括有炉体（1），其特征在于：该炉体（1）具有硅片输送烘干空间，并在该硅片输送烘干空间的上下侧分别设有上加热装置（2）和下加热装置（3）；在所述硅片输送烘干空间内设有用于输送硅片的输送装置（4），输送装置（4）上设有实现硅片侧立输送的载具（41），载具（41）满足硅片的上下侧面受热烘干；所述上加热装置（2）和下加热装置（3）沿着硅片输送烘干空间的长度方向分区设置，上加热装置（2）具有向下辐射热量的上加热体（21）及上风箱（22），上风箱（22）循环向下吹风；下加热装置（3）具有向上辐射热量的下加热体（31）及下风箱（32），下风箱（32）循环向上吹风；所述炉体（1）上还设有排气装置（5），排气装置（5）连通炉体（1）的硅片输送烘干空间；

所述上加热体（21）和下加热体（31）是发热管，上加热体（21）卧设在硅片上方且与硅片输送方向纵向垂直交叉设置；下加热体（31）卧设在硅片下方且与上加热体（21）非垂直交叉设置；

所述载具（41）上设有U形槽（414），硅片侧立于该U形槽（414）中；所述载具（41）具有支撑立杆（411），该支撑立杆（411）的下端固定在链条（42）上，链条（42）在链轮（43）带动下移动；支撑立杆（411）的上端支起底座（412），底座（412）的上侧设有上凸的护杆（413），护杆（413）与底座（412）一起构造U形槽（414），底座（412）具有镂空孔（4121）；

所述排气装置（5）具有吸气室（51）及连通吸气室（51）的排气管（52），并在排气管（52）中引入压缩空气，压缩空气喷向排气管（52）的排出端；所述排气管（52）上还设有外空气补入口（521），外空气补入口（521）位于压缩空气喷射之后；所述吸气室（51）连通炉体（1）的硅片输送烘干空间；所述排气装置（5）设置在炉体（1）的硅片输送烘干空间两端头上，所述排气管（52）与吸气室（51）连接处设置压缩空气喷嘴（53），压缩空气喷嘴（53）竖立在排气管（52）内中部；所述外空气补入口（521）是一环口，由排气管（52）分成两节相互嵌套留出的间隙形成。

2.根据权利要求1所述的硅片烘干炉，其特征在于：所述上加热体（21）设置在上风箱（22）的出风侧，上风箱（22）具有上压缩空气输入管（221）、上风机（222）、第一内室（223）及第二内室（224），上压缩空气输入管（221）连通上风箱（22）的第一内室（223），上风机（222）驱动第一内室（223）内的空气朝第一内室（223）下底部的网板（2231）移动；第二内室（224）设置在第一内室（223）外围，且第二内室（224）具有连通硅片输送烘干空间的上循环吸风口（2241）以及连通第一内室（223）的上循环进风口（2242）。

3.根据权利要求1所述的硅片烘干炉，其特征在于：所述下加热体（31）设置在下风箱（32）的出风侧，下风箱（32）具有下压缩空气输入管（321）、下风机（322）、第三内室（323）及第四内室（324），下压缩空气输入管（321）连通下风箱（32）的第三内室（323），下风机（322）驱动第三内室（323）内的空气朝第三内室（323）上顶部的网板（3231）移动；第四内室（324）设置在第三内室（323）外围，且第四内室（324）具有连通硅片输送烘干空间的下循环吸风口（3241）以及连通第三内室（323）的下循环进风口（3242）。

4.根据权利要求1所述的硅片烘干炉，其特征在于：所述链条（42）的左右侧设有导轮（421）。

5.根据权利要求1所述的硅片烘干炉，其特征在于：所述链条（42）上依节距分布载具（41）。