[发明专利]硅片烘干炉

说明书

本发明涉及太阳能电池硅片生产技术领域，尤其是涉及硅片烘干炉，炉体具有硅片输送烘干空间，并在该硅片输送烘干空间的上下侧分别设有上加热装置和下加热装置；在所述硅片输送烘干空间内设有实现硅片侧立输送的输送装置，上加热装置和下加热装置沿着硅片输送烘干空间的长度方向分区设置，上加热装置具有向下辐射热量的上加热体及上风箱，下加热装置具有向上辐射热量的下加热体及下风箱；炉体上还设有排气装置。硅片侧立输送，上加热体和下加热体同时对硅片的正面与背面加热烘干，缩短工艺时间；上风箱和下风箱促进烘干温度均匀化，节能、环保，无温差死角，满足HIT太阳能光伏电池硅片生产，且节约生产空间，提高生产效率同时满足生产品质要求。

技术领域

本发明涉及太阳能电池硅片生产技术领域，尤其是涉及用于印刷导电浆的硅片烘干固化设备。

背景技术

HIT太阳能光伏电池是以光照射侧的p/i型a-Si膜和背面侧的i/n型a-Si膜夹住单结晶硅片来构成的。HIT太阳能光伏电池基板以硅基板为主，在硅基板上沉积高能隙的硅纳米薄膜，表层再沉积透明导电膜，背面设有背表面电场。通过优化硅的表面结构，可以降低透明导电氧化层和a-Si层的光学吸收损耗。

HIT太阳能光伏电池制备时，硅片表面印刷完导电浆后需要进行烘干，传统的做法是采用热风烘干炉加热，而现有的热风烘干炉主要是采用热风循环，且硅片平躺传送，导致工艺时间长，烘干效果不佳，成品率低。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术缺陷，提供一种硅片烘干炉，满足HIT太阳能光伏电池硅片生产，提升烘干效果及成品率。

为达到上述目的，本发明采用如下技术方案：

硅片烘干炉，包括有炉体，该炉体具有硅片输送烘干空间，并在该硅片输送烘干空间的上下侧分别设有上加热装置和下加热装置；在所述硅片输送烘干空间内设有用于输送硅片的输送装置，输送装置上设有实现硅片侧立输送的载具，载具满足硅片的上下侧面受热烘干；所述上加热装置和下加热装置沿着硅片输送烘干空间的长度方向分区设置，上加热装置具有向下辐射热量的上加热体及上风箱，上风箱循环向下吹风；下加热装置具有向上辐射热量的下加热体及下风箱，下风箱循环向上吹风；所述炉体上还设有排气装置，排气装置连通炉体的硅片输送烘干空间。

上述方案进一步是：所述上加热体和下加热体是发热管，上加热体卧设在硅片上方且与硅片输送方向纵向垂直交叉设置；下加热体卧设在硅片下方且与上加热体非垂直交叉设置。

上述方案进一步是：所述载具上设有U形槽，硅片侧立于该U形槽中。

上述方案进一步是：所述载具具有支撑立杆，该支撑立杆的下端固定在链条上，链条在链轮带动下移动；支撑立杆的上端支起底座，底座的上侧设有上凸的护杆，护杆与底座一起构造U形槽，底座具有镂空孔。

上述方案进一步是：所述上加热体设置在上风箱的出风侧，上风箱具有上压缩空气输入管、上风机、第一内室及第二内室，上压缩空气输入管连通上风箱的第一内室，上风机驱动第一内室内的空气朝第一内室下底部的网板移动；第二内室设置在第一内室外围，且第二内室具有连通硅片输送烘干空间的上循环吸风口以及连通第一内室的上循环进风口。

上述方案进一步是：所述下加热体设置在下风箱的出风侧，下风箱具有下压缩空气输入管、下风机、第三内室及第四内室，下压缩空气输入管连通下风箱的第三内室，下风机驱动第三内室内的空气朝第三内室上顶部的网板移动；第四内室设置在第三内室外围，且第四内室具有连通硅片输送烘干空间的下循环吸风口以及连通第三内室的下循环进风口。

上述方案进一步是：所述排气装置具有吸气室及连通吸气室的排气管，并在排气管中引入压缩空气，压缩空气喷向排气管的排出端；所述排气管上还设有外空气补入口，外空气补入口位于压缩空气喷射之后；所述吸气室连通炉体的硅片输送烘干空间。