[发明专利]一种溶液环境可控的高性能薄膜制备装备有效
| 申请号： | 201711079896.7 | 申请日： | 2017-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN107894741B | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 杨冠军;黄世玉;丁斌;楚倩倩;李长久;李成新 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G05B19/05 | 分类号： | G05B19/05;G05D27/02 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种溶液环境可控的高性能薄膜制备装备，属于薄膜制备装备领域。该装备包括制备腔室、低压腔室、真空泵、稳压装置、抽气控制器、实验环境控制装置；制备腔室用于放置含有液膜的基体，通过抽气控制器与低压腔室连接；低压腔室分别与真空泵和稳压装置连接；实验环境控制装置连接制备腔室，用于控制制备腔室内的温度和湿度。其可以调节薄膜制备过程中的温度、压力、湿度等参数特征，进一步调控薄膜干燥过程中溶质结晶形核方式以及晶体的生长方式，从而制备具有特定需求的薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溶液 环境 可控 性能 薄膜 制备 装备 | ||
【主权项】：
一种溶液环境可控的高性能薄膜制备装备，其特征在于，包括制备腔室(1)、低压腔室(2)、真空泵(3)、稳压装置(5)、抽气控制器(6)、实验环境控制装置(7)；制备腔室(1)用于放置含有液膜的基体，通过抽气控制器(6)与低压腔室(2)连接；低压腔室(2)分别与真空泵(3)和稳压装置(5)连接；实验环境控制装置(7)连接制备腔室(1)，用于控制制备腔室(1)内的温度和湿度。
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