[发明专利]一种溶液环境可控的高性能薄膜制备装备

权利要求书

1.一种溶液环境可控的高性能薄膜制备装备，其特征在于，包括制备腔室(1)、低压腔室(2)、真空泵(3)、稳压装置(5)、抽气控制器(6)、实验环境控制装置(7)；制备腔室(1)用于放置含有液膜的基体，通过抽气控制器(6)与低压腔室(2)连接；低压腔室(2)分别与真空泵(3)和稳压装置(5)连接；实验环境控制装置(7)连接制备腔室(1)，用于控制制备腔室(1)内的温度和湿度；

所述抽气控制器(6)包括流量调节阀、控制器和压力传感器，压力传感器检测制备腔室(1)内的压力并将信号传输给控制器，控制器根据所接收的信号控制流量调节阀的开度；流量调节阀的一端连接制备腔室(1)，另一端连接低压腔室(2)；并且，所述抽气控制器包括十字型管道，在所述制备腔室上盖体上设有一个气路，气路连接十字分支管道，并通过一个十字分支管道分为三路，一路连接破真空器，另一路连接所述压力传感器，最后一路连接所述流量调节阀；

所述稳压装置(5)包括控制器、压力传感器和流量调节阀，压力传感器设置在低压腔室(2)内并将压力信号传输给控制器，控制器根据接收的压力信号控制流量调节阀的开度，流量调节阀的一端连接低压腔室(2)，另一端连接空气。

2.如权利要求1所述的溶液环境可控的高性能薄膜制备装备，其特征在于，所述制备腔室(1)包括底板和覆盖底板的盖体，底板和盖体之间可拆卸地密封连接；底板和盖体之间的腔室空间用于放置含有液膜的基体。

3.如权利要求2所述的溶液环境可控的高性能薄膜制备装备，其特征在于，底板和盖体之间设置橡胶密封圈，使得制备腔室(1)在工作时最低压力能够达到10-5Pa。

4.如权利要求1所述的溶液环境可控的高性能薄膜制备装备，其特征在于，抽气控制器(6)还包括与流量调节阀串联的净化器，净化器与流量调节阀设置在制备腔室(1)与低压腔室(2)之间。

5.如权利要求1所述的溶液环境可控的高性能薄膜制备装备，其特征在于，抽气控制器(6)还包括真空破除器，真空破除器的一端连接空气，另一端连接制备腔室(1)。

6.如权利要求1所述的溶液环境可控的高性能薄膜制备装备，其特征在于，真空泵(3)为机械泵、分子泵、扩散泵、低温泵、离子泵、水环泵中的一种或多种；当真空泵(3)为多个泵时，各个泵之间串联。

7.如权利要求1所述的溶液环境可控的高性能薄膜制备装备，其特征在于，所述控制器设置有存储器，用于存储压力传感器检测的压力和相应的流量调节阀的开度。

8.如权利要求1所述的溶液环境可控的高性能薄膜制备装备，其特征在于，在真空泵(3)与低压腔室(2)之间设置有抽气阀门(4)。