[发明专利]图像处理方法、图像处理系统及缺陷检测装置

摘要

本发明涉及图像处理方法、图像处理系统及缺陷检测装置，用于对晶元进行光学扫描后形成的原始图像(raw image)进行处理。所述图像处理系统包括图像边缘识别单元、图像分割单元、图像增强单元、图像去噪单元、图像标记单元以及数据存储单元，以便从原始图像中获得目标缺陷例如气泡缺陷的位置和尺寸信息。所述缺陷检测装置包括所述图像处理系统。通过本发明提供的图像处理方法、图像处理系统及缺陷检测装置，可以降低人工判断缺陷的成本以及误差，提高图像处理效率，并且可以及时有效地确定工艺或机台的异常情况，有助于减少由于工艺或机台的异常导致的损失。

主权项

一种图像处理方法，用于对晶元进行光学扫描后形成的原始图像进行处理，其特征在于，包括：图像分割步骤，去除所述原始图像中的第一类干扰图像的信息；图像增强步骤，对所述原始图像中的目标缺陷进行图像增强；图像去噪步骤，去除所述原始图像中的第二类干扰图像的信息，所述第二类干扰图像的信息不同于所述第一类干扰图像的信息；缺陷识别步骤，对所述原始图像中的目标缺陷进行识别；以及，数据存储步骤，存储所述目标缺陷的信息。