[发明专利]气浴装置、该气浴装置的制备方法以及光刻设备在审
| 申请号： | 201711046779.0 | 申请日： | 2017-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN109725494A | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 杨志斌;高玉英;俞芸;魏巍 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了气浴装置、该气浴装置的制备方法以及光刻设备，包括壳体、进气接口、温控介质通道、出风口，所述进气接口、所述出风口设置于所述壳体上，所述温控介质通道设置于所述壳体内，所述温控介质通道内用于通入流体的温控介质，气体由所述进气接口进入，与所述温控介质通过所述温控介质通道进行交换热量后由所述出风口吹出。本发明提供的气浴装置能够使得测量传感器的精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 温控介质 进气接口 出风口 光刻设备 壳体 制备 测量传感器 通道设置 吹出 流体 体内 交换 | ||
【主权项】：
1.一种气浴装置装置，其特征在于，包括壳体、进气接口、温控介质通道、出风口，所述进气接口、所述出风口设置于所述壳体上，所述温控介质通道设置于所述壳体内，所述温控介质通道内用于通入流体的温控介质，气体由所述进气接口进入，与所述温控介质通过所述温控介质通道进行交换热量后由所述出风口吹出。
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