[发明专利]气浴装置、该气浴装置的制备方法以及光刻设备在审
| 申请号： | 201711046779.0 | 申请日： | 2017-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN109725494A | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 杨志斌;高玉英;俞芸;魏巍 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 温控介质 进气接口 出风口 光刻设备 壳体 制备 测量传感器 通道设置 吹出 流体 体内 交换 | ||
1.一种气浴装置装置，其特征在于，包括壳体、进气接口、温控介质通道、出风口，所述进气接口、所述出风口设置于所述壳体上，所述温控介质通道设置于所述壳体内，所述温控介质通道内用于通入流体的温控介质，气体由所述进气接口进入，与所述温控介质通过所述温控介质通道进行交换热量后由所述出风口吹出。
2.根据权利要求1所述的气浴装置，其特征在于，所述进气口用于通入压缩空气。
3.根据权利要求1或2所述的气浴装置，其特征在于，还包括有多孔介质，所述多孔介质与所述温控介质通道外壁相接。
4.根据权利要求3所述的气浴装置，其特征在于，所述多孔介质设置于所述温控介质通道与所述壳体之间。
5.根据权利要求4所述的气浴装置，其特征在于，所述多孔介质由若干晶格状结构组成。
6.根据权利要求1所述的气浴装置，其特征在于，所述出气口设置有多个。
7.根据权利要求6所述的气浴装置，其特征在于，所述出气口处设置有若干个多孔板，所述多孔板用于均匀气流。
8.根据权利要求7所述的气浴装置，其特征在于，位于所述出气口处的所述壳体上设置有用于对气流进行导向的导风栅。
9.根据权利要求8所述的气浴装置，其特征在于，所述导风栅上设置有加热片。
10.根据权利要求8所述的气浴装置，其特征在于，所述导风栅上设置有用于调节所述导风栅的角度调节机构。
11.根据权利要求10所述的气浴装置，其特征在于，所述导风栅所在的平面与所述多孔板所在的平面之间的夹角为5°～90°。
12.根据权利要求7所述的气浴装置，其特征在于，所述导风栅的长度为10mm～20mm，相邻所述导风栅之间的距离为5mm～10mm。
13.根据权利要求1所述的气浴装置，其特征在于，所述温控介质通道为蛇形结构。
14.一种气浴装置的制备方法，包括有如权利要求1至13任一项所述的温控介质通道和多孔介质，其特征在于，所述温控介质通道和所述多孔介质均由3D打印制成。
15.根据权利要求14所述的气浴装置的制备方法，其特征在于，所述温控介质通道与所述多孔介质由3D打印成一体。
16.根据权利要求14或15所述的气浴装置的制备方法，其特征在于，所述多孔介质的孔径为1mm。
17.一种光刻设备，其特征在于，包括有如权利要求1至13任一项所述的气浴装置。
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