[发明专利]电镀设备在审
| 申请号： | 201711043826.6 | 申请日： | 2017-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN108004583A | 公开（公告）日： | 2018-05-08 |
| 发明（设计）人： | 林东灿;文光辰;朴炳律;李来寅;李镐珍 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | C25D17/00 | 分类号： | C25D17/00;C25D5/00 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 董婷;刘灿强 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种电镀设备包括：电镀槽，包括安装于其中的阳极和容纳于其中的电镀溶液；基底保持器，被构造为保持将要浸到电镀溶液中的基底，并且包括围绕基底的支撑件和位于支撑件上以电连接到基底的外围的阴极；磁场产生组件，设置在支撑件中，并且包括沿基底的圆周延伸的至少一个电磁线圈；以及电源，被构造为将电流供应到电磁线圈。 | ||
| 搜索关键词： | 电镀 设备 | ||
【主权项】：
1.一种电镀设备，所述电镀设备包括：电镀槽，包括阳极和电镀溶液；基底保持器，被构造为保持将要浸到电镀溶液中的基底，基底保持器包括支撑件和支撑件上的阴极，阴极被构造为电连接到基底的外围；位于支撑件中的磁场产生组件，磁场产生组件包括沿基底的周边延伸的至少一个电磁线圈；以及电源，被构造为将电流供应到所述至少一个电磁线圈。
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