[发明专利]基板保持装置、弹性膜、研磨装置以及弹性膜的更换方法有效
| 申请号： | 201711013639.3 | 申请日： | 2017-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN108015668B | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 锅谷治;福岛诚;并木计介;富樫真吾;山木晓;岸本雅彦;大和田朋子 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30;B24B37/34;B24B55/00 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供基板保持装置、弹性膜、研磨装置以及弹性膜的更换方法，该基板保持装置能够精密地调整研磨轮廓。本发明的基板保持装置(1)具有：形成用于按压基板(W)的多个压力室(16a～16f)的弹性膜(10)；连结弹性膜(10)的头主体(2)。弹性膜(10)具有：与基板(W)抵接而将该基板(W)向研磨垫(19)按压的抵接部(11)；从抵接部(11)的周端部向上方延伸的边缘周壁(14f)；配置在边缘周壁(14f)的径向内侧，从抵接部(11)向上方延伸的多个内部周壁(14a～14e)。多个内部周壁(14a～14e)中的至少两个相邻的内部周壁为向径向内侧倾斜的倾斜周壁。倾斜周壁从其下端到上端整体地一边向径向内侧倾斜，一边向上方延伸。 | ||
| 搜索关键词： | 保持 装置 弹性 研磨 以及 更换 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基板保持装置，其特征在于，具有：弹性膜，该弹性膜形成用于按压基板的多个压力室；以及头主体，该头主体与所述弹性膜连结，所述弹性膜具有：抵接部，该抵接部与所述基板抵接，将该基板按压于研磨垫；边缘周壁，该边缘周壁从所述抵接部的周端部向上方延伸；以及多个内部周壁，该多个内部周壁配置于所述边缘周壁的径向内侧，从所述抵接部向上方延伸，所述多个内部周壁中的至少两个相邻的内部周壁为向径向内侧倾斜的倾斜周壁，所述倾斜周壁从其下端到上端整体地一边向径向内侧倾斜，一边向上方延伸。
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