[发明专利]基板保持装置、弹性膜、研磨装置以及弹性膜的更换方法

权利要求书

1.一种基板保持装置，其特征在于，具有：

弹性膜，该弹性膜形成用于按压基板的多个压力室；以及

头主体，该头主体与所述弹性膜连结，

所述弹性膜具有：

抵接部，该抵接部与所述基板抵接，将该基板按压于研磨垫；

边缘周壁，该边缘周壁从所述抵接部的周端部向上方延伸；以及

多个内部周壁，该多个内部周壁配置于所述边缘周壁的径向内侧，从所述抵接部向上方延伸，

所述多个内部周壁中的至少两个相邻的内部周壁为向径向内侧倾斜的倾斜周壁，

所述倾斜周壁从其下端到上端整体地一边向径向内侧倾斜，一边向上方延伸，

当在铅垂方向的截面观察所述弹性膜时，相邻的所述倾斜周壁中的位于径向外侧的倾斜周壁的一部分，位于相邻的所述倾斜周壁中的位于径向内侧的所述倾斜周壁的上方。

2.如权利要求1所述的基板保持装置，其特征在于，

所述倾斜周壁彼此大致平行地延伸。

3.如权利要求1所述的基板保持装置，其特征在于，

所述倾斜周壁与所述边缘周壁相邻地配置。

4.一种基板保持装置，其特征在于，具有：

弹性膜，该弹性膜形成用于按压基板的多个压力室；以及

头主体，该头主体与所述弹性膜连结，

所述弹性膜具有：

抵接部，该抵接部与所述基板抵接，将该基板按压于研磨垫；

边缘周壁，该边缘周壁从所述抵接部的周端部向上方延伸；以及

多个内部周壁，该多个内部周壁配置于所述边缘周壁的径向内侧，从所述抵接部向上方延伸，

所述多个内部周壁中的至少两个相邻的内部周壁为向径向内侧倾斜的倾斜周壁，

所述倾斜周壁从其下端到上端整体地一边向径向内侧倾斜，一边向上方延伸，

所述头主体具有与所述弹性膜的两个所述倾斜周壁连结的三个连结环，

所述连结环分别具有：环垂直部、从该环垂直部一边向径向外侧倾斜一边向下方延伸的环倾斜部，

所述环倾斜部具有限制所述倾斜周壁的变形的内周面以及外周面。

5.如权利要求4所述的基板保持装置，其特征在于，

所述环倾斜部的顶端位于比所述倾斜周壁的中间点靠下方的位置。

6.如权利要求4所述的基板保持装置，其特征在于，

在所述环倾斜部的外周面形成有遍及该外周面的整周延伸的密封槽，

所述倾斜周壁的上端由嵌入所述密封槽的密封突起构成，

通过将所述密封突起按压于所述密封槽，从而将所述连结环与所述倾斜周壁之间的间隙密封。

7.如权利要求6所述的基板保持装置，其特征在于，

还具有固定件，该固定件将两个所述倾斜周壁同时连结于三个所述连结环，

所述固定件具有固定件主体和向该固定件主体的外侧突出的椭圆形状的凸缘，

三个所述连结环为内侧连结环、外侧连结环及中间连结环，该中间连结环通过夹入所述内侧连结环与所述外侧连结环而被该内侧连结环和外侧连结环保持，

在所述内侧连结环的环垂直部和所述外侧连结环的环垂直部分别形成有能够与所述凸缘卡合的内侧卡合槽和外侧卡合槽。

8.如权利要求7所述的基板保持装置，其特征在于，

还具有定位机构，该定位机构用于固定所述内侧连结环、所述外侧连结环以及所述中间连结环之间的相对位置。

9.如权利要求8所述的基板保持装置，其特征在于，

所述定位机构具有：

棒状部件；

第一插入孔，该第一插入孔形成于所述内侧连结环的环垂直部，能够供所述棒状部件插入；

第二插入孔，该第二插入孔形成于所述中间连结环的环垂直部，能够供所述棒状部件插入；以及

第三插入孔，该第三插入孔形成于所述外侧连结环的环垂直部，能够供所述棒状部件插入。