[发明专利]用于电镀或无电镀工艺的治具及其机台在审
申请号: | 201710993455.1 | 申请日: | 2017-10-23 |
公开(公告)号: | CN109554745A | 公开(公告)日: | 2019-04-02 |
发明(设计)人: | 李岳霖 | 申请(专利权)人: | 茂迪股份有限公司 |
主分类号: | C25D17/08 | 分类号: | C25D17/08;C25D7/12;C23C18/16 |
代理公司: | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人: | 关宇辰 |
地址: | 中国台湾新北市*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明一种用于电镀或无电镀工艺的治具包括:一载座;一载座保护层,于该电镀或无电镀工艺进行时装设于该载座上,并形成有一凹部,该凹部用以承载一待镀基板;一上盖保护层,于该电镀或无电镀工艺进行时与该载座保护层结合以夹持该待镀基板,借此该上盖保护层压合该待镀基板的一表面的环形边缘区域;以及一上盖,于该电镀或无电镀工艺进行时与该载座结合以固定该载座保护层及上盖保护层。 | ||
搜索关键词: | 保护层 载座 电镀 无电镀 上盖 待镀基板 凹部 治具 机台 环形边缘 夹持 装设 承载 | ||
【主权项】:
1.一种用于电镀或无电镀工艺的治具,其特征在于,包括:一载座;一载座保护层,于该电镀或无电镀工艺进行时装设于该载座上,并形成有一凹部,该凹部用以承载一待镀基板;一上盖保护层,于该电镀或无电镀工艺进行时与该载座保护层结合以夹持该待镀基板,借此该上盖保护层压合该待镀基板的一表面的环形边缘区域;以及一上盖,于该电镀或无电镀工艺进行时与该载座结合以固定该载座保护层及上盖保护层。
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