[发明专利]使用多个扫描仪的组合表面检查

摘要

本申请涉及使用多个扫描仪的组合表面检查，提供了用于检查各种组件的表面(如评估在这些表面上的高度偏差)的方法和系统。一种方法涉及聚合来自多个行扫描仪的检查数据到组合数据集中。这个组合数据集表示比扫描仪中的任何一个的测量领域大的表面的一部分。此外，每对相邻的扫描仪在不同的时间周期操作以避免干扰。因为操作周期是偏移的，由该对相邻的扫描仪扫描的表面部分可重叠且无干扰。扫描的部分的这种重叠确保整个表面被分析。扫描仪相对于检查表面的位置可在扫描之间被改变，且在一些实施例中，甚至在扫描期间被改变。这种方法允许大表面的精确的扫描。

主权项

1.一种检查组件的表面的方法，所述方法包括：将第一行扫描仪和第二行扫描仪相对于彼此和相对于所述组件的所述表面对齐，使得所述第一行扫描仪的测量领域与所述第二行扫描仪的测量领域部分重叠；使用所述第一行扫描仪在第一周期期间扫描所述表面的第一部分，使得扫描所述第一部分产生对应于所述第一部分的第一数据集；使用所述第二行扫描仪在相对于所述第一周期偏移的第二周期期间扫描所述表面的第二部分，使得扫描所述第二部分产生对应于所述第二部分的第二数据集；以及聚合所述第一数据集和所述第二数据集到组合数据集中。