[发明专利]一种双面氧化铝P型PERC太阳能电池及制作方法

摘要

本发明涉及太阳能电池领域，公开了一种双面氧化铝P型PERC太阳能电池及制作方法，该电池包括硅片和两个正电极；硅片正面依次设有正面氮化硅膜和正面氧化铝膜；硅片背面依次设有背面氧化铝膜、背面氮化硅膜、背电极/场。其制作方法包括：1）清洗、制绒；2）扩散制PN结；3）刻蚀；4）正面镀氮化硅膜；5）双面镀氧化铝膜；6）背面镀氮化硅膜；7）激光开槽；8）丝网印刷、烧结。本发明在硅片背面、正面都覆盖一层氧化铝薄膜，能够解决常规P型PERC电池在制作背面氧化铝时，绕镀导致的正面外观色差及EL边缘发黑等问题，同时正面均匀沉积的氧化铝薄膜层，有利于降低反射率提高转换效率。

主权项

1.一种双面氧化铝P型PERC太阳能电池，其特征在于：包括硅片（3）和设于所述硅片正面的两个正电极（7）；所述硅片正面依次设有正面氮化硅膜（2）和正面氧化铝膜（1）；硅片背面依次设有背面氧化铝膜（4）、背面氮化硅膜（5）、背电极/场（6）；所述的双面氧化铝P型PERC太阳能电池的制作方法包括以下步骤：1）清洗、制绒；2）扩散制PN结；3）刻蚀；4）正面镀氮化硅膜：采用PECVD方式，在步骤（3）刻蚀好的硅片正面镀70‑80nm厚的氮化硅膜；5）双面镀氧化铝膜：将步骤4）正面镀好氮化硅膜的硅片，插入铝质花篮中，每个卡槽插1片，放入氧化铝镀膜设备中，在真空条件下，以原子沉积的方式周期性通入TMA和水蒸气，在硅片正面、背面同时制作一层厚度为3‑10nm氧化铝膜层；6）背面镀氮化硅膜：将步骤5）双面镀好氧化铝的硅片利用PECVD方式，在硅片背面镀100‑180nm厚的氮化硅膜；7）激光开槽；8）丝网印刷、烧结。