[发明专利]一种双面氧化铝P型PERC太阳能电池及制作方法

权利要求书

1.一种双面氧化铝P型PERC太阳能电池，其特征在于：包括硅片（3）和设于所述硅片正面的两个正电极（7）；所述硅片正面依次设有正面氮化硅膜（2）和正面氧化铝膜（1）；硅片背面依次设有背面氧化铝膜（4）、背面氮化硅膜（5）、背电极/场（6）；

所述的双面氧化铝P型PERC太阳能电池的制作方法包括以下步骤：

1）清洗、制绒；

2）扩散制PN结；

3）刻蚀；

4）正面镀氮化硅膜：采用PECVD方式，在步骤（3）刻蚀好的硅片正面镀70-80nm厚的氮化硅膜；

5）双面镀氧化铝膜：将步骤4）正面镀好氮化硅膜的硅片，插入铝质花篮中，每个卡槽插1片，放入氧化铝镀膜设备中，在真空条件下，以原子沉积的方式周期性通入TMA和水蒸气，在硅片正面、背面同时制作一层厚度为3-10nm氧化铝膜层；

6）背面镀氮化硅膜：将步骤5）双面镀好氧化铝的硅片利用PECVD方式，在硅片背面镀100-180nm厚的氮化硅膜；

7）激光开槽；

8）丝网印刷、烧结。

2.如权利要求1所述的一种双面氧化铝P型PERC太阳能电池，其特征在于，步骤1）中，清洗、制绒的具体过程为：将P型硅片用双氧水清洗后，置于80±2℃、浓度为3-4%的碱中制绒10-20min，然后用盐酸、氢氟酸清洗1-3min，纯水清洗1-3min后烘干。

3.如权利要求1所述的一种双面氧化铝P型PERC太阳能电池，其特征在于，步骤2）中，扩散制PN结的具体过程为：将步骤1）制绒后的硅片在720-850℃下，通入三氯氧磷、氮气和氧气，制作方阻为85±5 ohm/squ的PN结。

4.如权利要求1所述的一种双面氧化铝P型PERC太阳能电池，其特征在于，步骤3）中，刻蚀的具体过程为：对步骤2）PN结制作完毕的硅片进行湿法刻蚀去除背面PN结，减重控制0.2-0.3g/片。

5.如权利要求1所述的一种双面氧化铝P型PERC太阳能电池，其特征在于，步骤7）中，激光开槽的具体过程为：将步骤6）处理后的硅片，利用激光在背面氮化硅膜上均匀开孔径为35-45μm的槽线，线数170-200根。

6.如权利要求1所述的一种双面氧化铝P型PERC太阳能电池，其特征在于，步骤8）中，丝网印刷、烧结的具体过程为：对步骤7）处理后的硅片，分别印刷背电极、背电场、正电极，最后烧结形成双面氧化铝P型PERC太阳能电池。

7.如权利要求1所述的一种双面氧化铝P型PERC太阳能电池，其特征在于，步骤5）中，通入TMA和水蒸气的每个周期过程为：通入1.5-2.5秒TMA，氮气清洗2.5-3.5秒，通入水蒸气1-2秒，氮气清洗4-6秒，总周期数为要40-60个。