[发明专利]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201710918004.1 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN107509150B | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 张金宇;张睿 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 广东广和律师事务所 44298 | 代理人： | 陈巍巍 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS麦克风，包括设有多个声孔的背极板、与所述背极板相对且间隔设置以形成电容结构的振动膜、由所述背极板向所述振动膜方向延伸形成的凸部、贯穿所述振动膜设置的通孔及贯穿所述凸部设置的平衡孔；所述凸部与所述通孔正对设置且所述凸部的靠近所述通孔的一侧与所述通孔齐平；当所述振动膜受压力向所述背极板方向移动时使所述平衡孔经所述空气间隙将所述背极板的远离所述振动膜的一侧与所述振动膜的远离所述背极板的一侧连通。与相关技术相比，本发明的MEMS麦克风声学性能好且可靠性强。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
一种MEMS麦克风，包括设有多个声孔的背极板、与所述背极板相对且间隔设置以形成电容结构的振动膜、由所述背极板向所述振动膜方向延伸形成的凸部及贯穿所述振动膜设置的通孔，所述凸部与所述通孔正对设置，所述通孔的孔壁与所述凸部之间形成空气间隙，其特征在于，所述MEMS麦克风还包括贯穿所述凸部设置的平衡孔，当所述振动膜受压力向所述背极板方向移动时使所述平衡孔经所述空气间隙将所述背极板的远离所述振动膜的一侧与所述振动膜的远离所述背极板的一侧连通。
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