[发明专利]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201710918004.1 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN107509150B | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 张金宇;张睿 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 广东广和律师事务所 44298 | 代理人： | 陈巍巍 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
1.一种MEMS麦克风，包括设有多个声孔的背极板、与所述背极板相对且间隔设置以形成电容结构的振动膜、由所述背极板向所述振动膜方向延伸形成的凸部及贯穿所述振动膜设置的通孔，所述凸部呈圆柱状或方柱状，所述凸部与所述通孔正对设置，所述通孔的孔壁与所述凸部之间形成空气间隙，其特征在于，所述MEMS麦克风还包括贯穿所述凸部设置的平衡孔，当所述振动膜受压力向所述背极板方向移动时使所述平衡孔经所述空气间隙将所述背极板的远离所述振动膜的一侧与所述振动膜的远离所述背极板的一侧连通；所述背极板还设有连通所述平衡孔和与所述凸部相邻的声孔的连通通道；所述平衡孔包括四个且等间隔设置。
2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述凸部与所述背极板为一体结构。
3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述凸部包括由所述背极板向所述振动膜方向延伸且围成柱状的侧壁和盖设固定于所述侧壁的远离所述背极板一端的底壁，所述平衡孔贯穿所述侧壁设置且所述平衡孔与所述底壁之间形成挡壁，所述振动膜正常工作时向所述凸部方向的正投影位于所述挡壁范围内。
4.根据权利要求3所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述侧壁与所述底壁为一体结构。
5.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述凸部及所述通孔均包括一个，且分别位于所述背极板与所述振动膜的中心。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于瑞声声学科技（深圳）有限公司，未经瑞声声学科技（深圳）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201710918004.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种增强记忆力的纯天然家用儿童电热蚊香液
- 下一篇：一种纯天然驱蚊组合物
