[发明专利]陀螺传感器、陀螺传感器的制造方法、电子设备及移动体

摘要

本发明提供一种陀螺传感器、陀螺传感器的制造方法、电子设备及移动体。所述陀螺传感器的特征在于，具有：基板；固定部，其被固定在所述基板上；驱动部，其在沿着第一轴的第一方向上进行驱动；质量部，其与所述驱动部连接，并沿着所述第一方向进行位移；检测部，其被包含在所述质量部中，且通过所作用的科里奥利力而能够在沿着与所述第一轴正交的第二轴的第二方向上进行位移；以及弹性部，其对所述质量部和所述固定部进行连接，所述弹性部的外周面具有主面、侧面和连接所述主面与所述侧面的连接面，所述连接面具有曲面状的曲面部。

主权项

一种陀螺传感器，其特征在于，包括：基板；固定部，其被固定在所述基板上；驱动部，其在沿着第一轴的第一方向上进行驱动；质量部，其与所述驱动部连接，并且沿着所述第一方向进行位移；弹性部，其对所述质量部和所述固定部进行连接，所述质量部包含检测部，所述检测部通过所作用的科里奥利力而能够在沿着与所述第一轴正交的第二轴的第二方向上进行位移，所述弹性部的外周面包括主面、侧面和连接所述主面与所述侧面的连接面，所述连接面具有曲面状的曲面部。