[发明专利]单晶衬底和微机械结构的加工方法在审
| 申请号： | 201710890273.1 | 申请日： | 2017-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN107867673A | 公开（公告）日： | 2018-04-03 |
| 发明（设计）人： | A·布罗克迈尔;R·拉普;F·J·桑托斯罗德里奎兹 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人： | 郑立柱 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据各种实施例，加工单晶衬底(102)的方法可以包括沿着主处理侧将衬底(102)分割(100b)成至少两个单晶衬底子块(102a，102b)；以及形成(100c)包括所述至少两个衬底子块(102a，102b)的单晶衬底子块的微机械结构(106)。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 微机 结构 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种加工单晶的衬底(102)的方法，所述方法包括：将所述衬底(102)沿着主处理侧分割(100b)成单晶的至少两个衬底子块(102a，102b)；以及形成(100c)微机械结构(106)，所述微机械结构(106)包括所述至少两个衬底子块(102a，102b)中的至少一个单晶衬底子块。
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