[发明专利]一种集成式无源无线微机械开关及其制备方法在审
| 申请号： | 201710886278.7 | 申请日： | 2017-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN107799360A | 公开（公告）日： | 2018-03-13 |
| 发明（设计）人： | 王立峰;黄庆安 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00;H01H1/00;H01H11/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集成式无源无线微机械开关及其制备方法，该微机械开关以P型衬底10为基底，由下至上依次设置的P型衬底10、N阱11、P阱12、N+掺杂区13、P+掺杂区14、第一绝缘层15、第一金属层17、第二绝缘层18和第二金属层19；利用多步掺杂工艺、镀膜工艺、电镀工艺和牺牲层技术，在一个芯片上同时制备出包含二极管、电容、电阻、微机械开关和电感的集成式无源无线微机械开关结构。本发明与分立器件的组装相比，集成系统的面积大大减小、互联线长度降低系统可靠性提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 无源 无线 微机 开关 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种集成式无源无线微机械开关，其特征在于该微机械开关以P型衬底10为基底，在P型衬底10上设有N阱11，在N阱11中设有N+掺杂区13和P阱12，在P阱12中设有P+掺杂区14，构成二极管2；在二极管2和P型衬底10的上表面设有第一绝缘层15；在二极管2旁的第一绝缘层15的上方向上依次设有第一金属层17、第二绝缘层18和第二金属层19，构成电容器3；在电容器3旁的第一绝缘层15的上方向上依次设有第一金属层17、第二绝缘层18和第二金属层19，构成电阻器4；在电阻器4旁的第一绝缘层15的上方向上依次设有第一金属层17、第二绝缘层18和第二金属层19，构成微机械开关5；在二极管2、电容器3、电阻器4、微机械开关5外围设有电感线圈6。
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