[发明专利]一种制备颗粒硅籽晶的系统及方法有效
申请号: | 201710858647.1 | 申请日: | 2017-09-21 |
公开(公告)号: | CN107585769B | 公开(公告)日: | 2018-06-01 |
发明(设计)人: | 鲍守珍;任长春;李凤琴;赵玉英;蔡延国;宗冰;王体虎 | 申请(专利权)人: | 亚洲硅业(青海)有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司 |
主分类号: | C01B33/021 | 分类号: | C01B33/021 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 齐海迪 |
地址: | 810007 青海省西*** | 国省代码: | 青海;63 |
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摘要: | 本发明涉及晶体硅制备技术领域,旨在提供一种制备颗粒硅籽晶的系统及方法,其能够制备出纯度高、球度高的颗粒硅籽晶。本发明提供的制备颗粒硅籽晶的系统,包括挡板、熔融装置以及喷射装置,挡板与喷射装置的喷射部间隔设置。经熔融装置将多晶硅料加热至熔融状态,得到熔融多晶硅;将熔融多晶硅经喷射装置分散为多晶硅液滴,并经过挡板分散为更小的多晶硅液滴;多晶硅液滴在空中进行冷却凝固,得到颗粒硅籽晶。本发明提供的制备颗粒硅籽晶的系统能够制备出纯度高、球度高的颗粒硅籽晶,具有较小的物料损失量并且不易产生粉尘。本发明提供的制备颗粒硅籽晶的方法,由于采用上述的制备颗粒硅籽晶的系统,因此也具有上述的有益。 | ||
搜索关键词: | 颗粒硅 籽晶 制备 多晶硅 挡板 喷射装置 液滴 熔融装置 球度 熔融 制备技术领域 多晶硅料 间隔设置 冷却凝固 熔融状态 物料损失 晶体硅 喷射部 加热 粉尘 | ||
【主权项】:
1.一种制备颗粒硅籽晶的系统,其特征在于,包括:挡板;用于将固体硅料熔融的熔融装置,所述熔融装置包括具备有导流口的容纳腔;用于将经所述导流口流出的熔融液滴喷射至所述挡板的喷射装置,所述挡板与所述喷射装置的喷射部间隔设置。
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