[发明专利]一种触摸屏开关、触摸屏及触摸屏开关的制作方法有效
| 申请号： | 201710847436.8 | 申请日： | 2017-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN107682001B | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 曾霜华 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H03K17/96 | 分类号： | H03K17/96;G06F3/041 |
| 代理公司： | 44238 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) | 代理人： | 潘中毅;熊贤卿 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种触摸屏开关，包括玻璃基板、缓冲层、栅极绝缘层和第二金属层，还包括涂抹第二金属层上方且有一空心槽的平坦有机层；涂抹于平坦有机层上方、空心槽内表面及底部的第一介质层；设置第一介质层上方且一侧位于空心槽外，另一侧延伸至空心槽内的第三金属层；覆盖第一介质层及第三金属层上方的第二介质层，且对应空心槽所在区域上蚀刻有同时贯穿第二和第一介质层上下表面并远离第三金属层的两个第一通孔，以及贯穿第二介质层上下表面并位于第三金属层上方的两个第二通孔；覆盖第二介质层上方、两个第一通孔内表面及底部以及两个第二通孔内表面及底部的底部铟锡氧化物。实施本发明，既不压缩设计，也满足制程窗口，降低返工率并提升产量。 | ||
| 搜索关键词： | 介质层 空心槽 金属层 第二金属层 通孔内表面 上下表面 有机层 通孔 涂抹 平坦 蚀刻 触摸屏开关 栅极绝缘层 铟锡氧化物 玻璃基板 所在区域 缓冲层 内表面 贯穿 返工 覆盖 制程 压缩 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种触摸屏开关，包括：/n一玻璃基板；/n一设置于所述玻璃基板上方的缓冲层；/n一设置于所述缓冲层上方的栅极绝缘层；/n一设置于所述栅极绝缘层上方的第二金属层；/n其特征在于，还包括：一涂抹于所述第二金属层上方的平坦有机层，且所述平坦有机层上蚀刻有一开口向上的空心槽；/n一涂抹于所述平坦有机层上方、所述空心槽内表面及其底部对应第二金属层所在区域上方的第一介质层；/n一设置于所述第一介质层上方的第三金属层，且所述第三金属层的一侧位于所述空心槽外，另一侧沿所述第一介质层对应空心槽所在区域的一侧顶部边缘向下延伸至所述空心槽内；/n一覆盖于所述第一介质层上方及所述第三金属层上方的第二介质层，且在所述第二介质层对应空心槽的所在区域上蚀刻有同时贯穿所述第二介质层和所述第一介质层上下表面并远离所述第三金属层的两个第一通孔，以及/n蚀刻有贯穿所述第二介质层上下表面并位于所述第三金属层上方的两个第二通孔；/n一覆盖于所述第二介质层上方、所述两个第一通孔内表面及其底部对应第二金属层所在区域上方以及所述两个第二通孔内表面及其底部对应第三金属层所在区域上方的底部铟锡氧化物。/n
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