[发明专利]姿势变更装置

摘要

本发明提供一种姿势变更装置，其将基板的姿势从水平姿势和垂直姿势中的一种姿势变更为另一种姿势。在姿势变更装置中，在垂直保持部和推动器之间进行基板的交接前，控制部基于基板的翘曲状态来控制保持部移动机构，从而使厚度方向上的水平保持部的位置相对于垂直保持部移动基于翘曲状态所决定的移动距离。由此，即使在基板翘曲的情况下，也能够一边防止基板和水平保持部的接触，一边合适地进行垂直保持部和推动器之间的基板的交接。

主权项

一种姿势变更装置，将基板的姿势从水平姿势和垂直姿势中的一种姿势变更为另一种姿势，其中，所述姿势变更装置具有：垂直保持部，在基板为垂直姿势的情况下，以所述基板的下侧的端部向下方凸出的状态，在所述端部的周向两侧夹持所述基板的下缘部，水平保持部，在所述垂直保持部保持垂直姿势的所述基板的状态下相邻地配置在所述垂直保持部的上方，在所述基板为水平姿势的情况下，在所述基板的径向两侧从下方支撑所述基板的下表面，安装块，安装有所述垂直保持部和所述水平保持部；保持部旋转机构，通过使所述安装块以朝向水平方向的旋转轴为中心旋转，对能够利用所述垂直保持部保持垂直姿势的所述基板的垂直保持状态和能够利用所述水平保持部保持水平姿势的所述基板的水平保持状态进行切换，保持部移动机构，在所述基板的厚度方向上使所述水平保持部相对于所述垂直保持部相对移动，推动器，在与所述垂直保持部之间进行垂直姿势的所述基板的交接，控制部，在所述垂直保持部和所述推动器之间进行所述基板的交接前，基于所述基板的翘曲状态控制所述保持部移动机构，从而使所述厚度方向上的所述水平保持部的位置相对于所述垂直保持部移动基于所述翘曲状态所决定的移动距离。