[发明专利]一种显示面板及其制程

摘要

本发明提供了一种显示面板及其制程，显示面板制程包括：提供一基板层；在所述基板层上形成薄膜晶体管；在所述薄膜晶体管上形成一层平坦层；在所述平坦层上形成辅助电极层；在所述辅助电极层上依次沉积多层薄膜，所述多层薄膜中单层薄膜的致密性从下往上逐渐增大；对所述多层薄膜涂敷光阻、曝光、显影形成预设图案，形成预设图案的所述多层薄膜的宽度相等；对所述多层薄膜进行干蚀刻，以使所述多层薄膜中单层薄膜的宽度从下往上逐渐变大；去除所述多层薄膜上的涂覆光阻，形成倒梯形的阴极隔离柱。阴极隔离柱具有制程稳定性好，大板均一性好的特点，并在后续制程中不容易从基板上脱落。简化了制作倒梯形的阴极隔离柱的制程，提高了效率。

主权项

1.一种显示面板的制程，其特征在于，包括：/n提供一基板层；/n在所述基板层上形成薄膜晶体管；/n在所述薄膜晶体管上形成一层平坦层；/n在所述平坦层上形成辅助电极层；/n在所述辅助电极层上依次沉积多层薄膜，所述多层薄膜中单层薄膜的致密性从下往上逐渐增大；/n对所述多层薄膜涂敷光阻，对所述光阻曝光、显影形成图像；/n对所述多层薄膜进行干蚀刻，将超出所述图像部分去除，并使所述多层薄膜中单层薄膜的宽度从下往上逐渐变大；/n去除所述多层薄膜上的涂敷光阻，形成倒梯形的阴极隔离柱。/n