[发明专利]光阻烘烤设备在审
| 申请号： | 201710779911.2 | 申请日： | 2017-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN107362953A | 公开（公告）日： | 2017-11-21 |
| 发明（设计）人： | 陈仲仁;林明文;蔡在秉;李彦泽;伍池林;吴智坤 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | B05D3/04 | 分类号： | B05D3/04 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司44304 | 代理人： | 孙伟峰,顾楠楠 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光阻烘烤设备，该设备包括烘烤腔体，所述烘烤腔体上分别设有进风口以及出风口，所述烘烤腔体上设有与其密封连接的上盖，所述上盖用于对进入烘烤腔体内的热风进行导向，所述上盖上设有用于保持热风温度的加热装置。与现有技术相比，通过在上盖上设置加热装置，从而使吹向上盖的热风能够被加热，并使流向出风口时，热风的温度始终保持一致，从而避免光阻挥发物在接触到上盖后由于温度的改变导致冷凝滴落，影响产品的品质，而且也保证了烘烤腔体中温度的均一性。 | ||
| 搜索关键词： | 烘烤 设备 | ||
【主权项】：
一种光阻烘烤设备，该设备包括烘烤腔体(1)，其特征在于：所述烘烤腔体(1)上分别设有进风口(2)以及出风口(3)，所述烘烤腔体(1)上设有与其密封连接的上盖(11)，所述上盖(11)用于对进入烘烤腔体(1)内的热风进行导向，所述上盖(11)上设有用于保持热风温度的加热装置(4)。
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