[发明专利]光阻烘烤设备

权利要求书

1.一种光阻烘烤设备，该设备包括烘烤腔体(1)，其特征在于：所述烘烤腔体(1)上分别设有进风口(2)以及出风口(3)，所述烘烤腔体(1)上设有与其密封连接的上盖(11)，所述上盖(11)用于对进入烘烤腔体(1)内的热风进行导向，所述上盖(11)上设有用于保持热风温度的加热装置(4)。

2.根据权利要求1所述的光阻烘烤设备，其特征在于：所述加热装置(4)为设于上盖(11)上的电阻线圈。

3.根据权利要求1所述的光阻烘烤设备，其特征在于：所述加热装置(4)为PTC加热板。

4.根据权利要求1所述的光阻烘烤设备，其特征在于：所述加热装置(4)设置在上盖(11)靠近出风口(3)的一侧。

5.根据权利要求4所述的光阻烘烤设备，其特征在于：所述加热装置(4)设于上盖(11)背离烘烤腔体(1)的一侧表面上。

6.根据权利要求4所述的光阻烘烤设备，其特征在于：所述进风口(2)和出风口(3)分别设置在烘烤腔体(1)相对的两侧上。

7.根据权利要求6所述的光阻烘烤设备，其特征在于：所述烘烤腔体(1)内位于进风口(2)上设有用于将热风朝上盖(11)方向引导的第一导流通道(21)，所述第一导流通道(21)的进口与进风口(2)密封连接，出口与上盖(11)相对。

8.根据权利要求6或7所述的光阻烘烤设备，其特征在于：所烘烤腔体(1)内位于出风口(3)上设有用于对热风进行回收的第二导流通道(31)，所述第二导流通道(31)的进口与上盖(11)相对，出口与出风口(3)密封连接。

9.根据权利要求8所述的光阻烘烤设备，其特征在于：所述设备还包括以排气装置(5)，所述排气装置(5)经管道与出风口(3)连接。

10.根据权利要求9所述的光阻烘烤设备，其特征在于：所述设备还包括热风发生装置(6)，所述热风发生装置(6)经管道与进风口(2)连接。