[发明专利]圆盘类零件一次性全表面沉积用工件驱动装置及气相沉积炉

摘要

本发明揭示了圆盘类零件一次性全表面沉积用工件驱动装置及气相沉积炉，包括至少一对配合支撑工件并驱动工件绕其中心轴自转的第一转盘和第二转盘，所述第一转盘和第二转盘绕各自的中心轴自转，并持续改变与工件的接触位置。本发明设计精巧，通过第一转盘和第二转盘配合支撑工件，并驱动工件自转，从而保证沉积过程中，能够实时改变工件与第一转盘和第二转盘的接触位置，避免工件的某一位置一直被遮挡，无法沉积成膜的问题，从而能够在一次沉积过程中实现工件的全表面沉积，并且保证沉积得到的膜层的均匀性，应用简单，膜层品质高。

主权项

1.圆盘类零件一次性全表面沉积用工件驱动装置，其特征在于：包括至少一对配合支撑工件（1）并驱动工件（1）绕其中心轴（X）自转的第一转盘（2）和第二转盘（3），工作时，所述第一转盘（2）和第二转盘（3）绕各自的中心轴（Y、Z）自转，并持续改变与工件的接触位置。