[发明专利]电感耦合式等离子体(ICP)反应器中的功率沉积控制

摘要

本文提供电感耦合式等离子体(ICP)反应器的实施例。在一些实施例中，用于电感耦合式等离子体反应器的电介质窗包括：主体，该主体包括第一侧、与第一侧相对的第二侧、边缘和中心，其中，该电介质窗具有在空间上变化的介电系数。在一些实施例中，用于处理基板的设备包括：工艺腔室，具有处理容积，该处理容积设置在该工艺腔室的盖的下方；以及一个或多个电感线圈，这些电感线圈设置在盖上方以将RF能量感性地耦合至设置在处理容积内的基板支撑件上方的处理容积中，并在该处理容积内的基板支撑件上方的处理容积中形成等离子体；其中，该盖是电介质窗，该电介质窗包括第一侧与相对的第二侧，该第二侧面向处理容积；并且其中，该盖具有在空间上变化的介电系数，以将对RF能量的变化的功率耦合从一个或多个电感线圈提供至处理容积。

主权项

一种用于电感耦合式等离子体反应器的电介质窗，包括：主体，所述主体包括第一侧、与所述第一侧相对的第二侧、边缘和中心，其中，所述电介质窗具有在空间上变化的介电系数；一个或多个突出部，所述一个或多个突出部从所述主体的所述第二侧延伸，并且使所述电介质窗的介电系数变化；以及多个气体分配孔，在所述一个或多个突出部的径向内侧位置穿过所述主体来设置。