[发明专利]排气设备和使用其的衬底处理设备有效
| 申请号： | 201710738549.4 | 申请日： | 2017-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN107785221B | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 李学周;金大渊;金承煜;朴珍石;金材玹 | 申请（专利权）人： | ASM知识产权私人控股有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 11205 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人： | 马爽;臧建明 |
| 地址： | 荷兰阿尔梅勒佛*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明提供一种使用气帘替代机械打开/关闭结构的排气设备，以通过选择性地排放气体来防止反应副产物的形成。排气设备包含：第一区域；连接到第一区域的第二区域；连接到第一区域的第三区域；以及连接到第二区域的第一气体管线，其中当将气体供应到第一气体管线时，第一区域不与第二区域连通，但与第三区域连通。 | ||
| 搜索关键词： | 排气 设备 使用 衬底 处理 | ||
【主权项】：
1.一种排气设备，包括：/n第一区域；/n连接到所述第一区域的第二区域；/n连接到所述第一区域的第三区域；/n连接到所述第二区域的第一气体管线，/n其中当将气体供应到所述第一气体管线时，所述第一区域不与所述第二区域连通，但与所述第三区域连通；以及/n放置于所述第二区域中的第一气体供应环，/n其中所述第一气体供应环包括连接到所述第一气体管线的至少一个孔洞。/n
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