[发明专利]传感器及其制备方法、阵列基板、显示面板、显示装置有效

专利信息
申请号: 201710696196.6 申请日: 2017-08-15
公开(公告)号: CN109411604B 公开(公告)日: 2021-01-08
发明(设计)人: 冯翔;杨照坤;王庆贺;刘莎;杨瑞智;张强;谢春燕;邱云 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司
主分类号: H01L51/05 分类号: H01L51/05;H01L51/10;G01N27/414;G02F1/1362;H01L27/32
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 郭润湘
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 本申请公开了传感器及其制备方法、阵列基板、显示面板、显示装置,用以提传感器进行气体浓度检测时的灵敏度,提升检测效果。本申请实施例提供的一种传感器,包括薄膜晶体管结构,所述薄膜晶体管结构包括源极、漏极和栅极,该薄膜晶体管结构还包括:设置在所述栅极之上的气体承载结构,该气体承载结构中设置有用于承载待测气体的空隙。
搜索关键词: 传感器 及其 制备 方法 阵列 显示 面板 显示装置
【主权项】:
1.一种传感器,包括薄膜晶体管结构,所述薄膜晶体管结构包括源极、漏极和栅极,其特征在于,该薄膜晶体管结构还包括:设置在所述栅极之上的气体承载结构,该气体承载结构中设置有用于承载待测气体的空隙。
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