[发明专利]一种新型扩散炉电池片输送装置在审
申请号: | 201710690117.0 | 申请日: | 2017-08-14 |
公开(公告)号: | CN107316835A | 公开(公告)日: | 2017-11-03 |
发明(设计)人: | 王勤振;吴文明;马东方 | 申请(专利权)人: | 通威太阳能(安徽)有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 昆明合众智信知识产权事务所53113 | 代理人: | 张玺 |
地址: | 230088 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种新型扩散炉电池片输送装置,包括中轴和同步轮,中轴安装端外侧壁设置有固定面,且中轴安装端的两端分别转动插接于左安装架和右安装架中,同步轮套接在左安装架和右安装架之间的中轴安装端上;同步轮贯通开设有插孔,固定面上对应插孔开设有钻孔,插孔内插设有顶丝,且顶丝靠近中轴安装端一端延伸插入钻孔内。本发明通过变更同步轮的固定方式,设计出可以固定更牢固的同步轮中轴固定面,在固定面的表面开设一个钻孔,让顶丝从同步轮的插孔插入,并且深入到钻孔内,可以有效的防止同步轮出现左右偏移,从而避免扩散炉推舟过载报警情况的发生,合理减少扩散炉DOWN机时间,进而可以提高硅片扩散时的良品率。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 扩散 电池 输送 装置 | ||
【主权项】:
一种新型扩散炉电池片输送装置,包括中轴和同步轮(6),其特征在于:所述中轴包括相互固定连接的中轴固定端(1)和中轴安装端(2),所示中轴安装端(2)外侧壁设置有固定面(3),且中轴安装端(2)的两端分别转动插接于左安装架(4)和右安装架(5)中,所述同步轮(6)套接在左安装架(4)和右安装架(5)之间的中轴安装端(2)上;所述同步轮(6)贯通开设有插孔(7),所述固定面(3)上对应插孔(7)开设有钻孔(9),所述插孔(7)内插设有顶丝(8),且所述顶丝(8)靠近中轴安装端(2)一端延伸插入钻孔(9)内。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造