[发明专利]一种电子束提纯设备的分布式改良控制方法有效
申请号: | 201710679388.6 | 申请日: | 2017-08-10 |
公开(公告)号: | CN107608316B | 公开(公告)日: | 2019-07-30 |
发明(设计)人: | 张林;杨守斌;于登昌;娄杰;王耀辉 | 申请(专利权)人: | 青岛萨纳斯新能源科技有限公司 |
主分类号: | G05B19/418 | 分类号: | G05B19/418;C01B33/037 |
代理公司: | 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙) 37247 | 代理人: | 刘娜;李新欣 |
地址: | 266100 山东省青岛市崂山区松岭路1*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明公开了一种电子束提纯设备的分布式改良控制方法,包括如下步骤:(1)分布式部署;(2)基本参数拾取;(3)电子束路径规划;(4)分布式算法控制,本发明所公开的控制方法通过分布式的自动控制算法来控制各个电子束提纯设备进行自主动作,通过拾取基本参数,规划电子束路径,最后通过分布式算法控制,向中央控制中心发送基本参数信息,制定炼制方案,从而改良产品品质和保证产品产量。 | ||
搜索关键词: | 一种 电子束 提纯 设备 分布式 改良 控制 方法 | ||
【主权项】:
1.一种电子束提纯设备的分布式改良控制方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)分布式部署:根据设备的情况,进行分布式网络部署,每台电子束提纯设备使用一台控制机作为终端控制机,终端控制机和电子束提纯设备上的PLC工控系统对接,同时所有的终端控制机都通过高速以太网络连接到中央控制中心;(2)基本参数拾取:根据电子束提纯设备的特点,采取硅料的含磷比例为基本输入指标,所有的环控参数为基本辅助参数,电子束路径为核心参数;(3)电子束路径规划:电子束按照横向、纵向、螺旋线、环形扫描的方式,在电子束提纯设备中进行扫描,同时建立扫描模型和基本参数的闭环关系,并存储下来;(4)分布式算法控制:所有的电子束提纯设备向中央控制中心发送硅料的基本参数信息,中央控制中心根据这些参数,发送炼制方案,同时在炼制过程中,对硅料进行实时监控和工作参数调整。
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